12传感器与检测研讨.ppt

4.5 光栅传感器 4.5.1 光栅传感器的结构 4.5.2 莫尔条纹形成的原理 4.5.3 莫尔条纹技术的特点 4.5.4 光栅的光路 4.5.5 辨向原理 4.5.6 细分技术 4.5.1 光栅传感器的结构 光栅传感器由光源、透镜、光栅副（主光栅和指示光栅）和光电接收元件组成。 光栅传感器光源： 钨丝灯泡： 输出功率较大，工作范围较宽（-40℃到+130℃） 与光电元件相组合的转换效率低。在机械振动和冲击条件下工作时，使用寿命将降低。 半导体发光器件: 转换效率高，响应特征快速。 如砷化镓发光二极管，与硅光敏三极管相结合，转换效率最高可达30%左右。砷化镓发光二极管的脉冲响应速度约为几十ns，可以使光源工作在触发状态，从而减小功耗和热耗散。 。 光栅副：指示光栅＋主光栅 光电元件 包括有光电池和光敏三极管等部分。 在采用固态光源时，需要选用敏感波长与光源相接近的光敏元件，以获得高的转换效率。 在光敏元件的输出端，常接有放大器，通过放大器得到足够的信号输出以防干扰的影响。 4.5.2 莫尔条纹形成的原理 4.5.3 莫尔条纹技术的特点 （1）调整夹角即可得到很大的莫尔条纹的宽度，起到了 放大作用，又提高了测量精度。 （2）莫尔条纹的光强度变化近似正弦变化，便于将电信 号作进一步细分，即采用“倍频技术”。这样可以提 高测量精度或可以采用较粗的光栅。 （3）光电元件对于光栅刻线的误差起到了平均作用。刻 线的局部误差和周期误差对于精度没有直接的 影响。 因此可得到比光栅本身的刻线精度高的测量精度。 这是用光栅测量和普通标尺测量的主要差别。 径向光栅进行角度测量 4.5.4 光栅的光路 透射光路 反射光路 （1）透射式光路 （2）反射式光路 4.5.5 辨向原理 单个光电元件接收一固定点的莫尔条纹信号，只能判别明暗的变化而不能辨别莫尔条纹的移动方向，因而就不能判别运动零件的运动方向，以致不能正确测量位移。 如果能够在物体正向移动时，将得到的脉冲数累加，而物体反向移动时可从已累加的脉冲数中减去反向移动的脉冲数，这样就能得到正确的测量结果。 辨向光路设置 辨向电路 4.5.6 细分技术 提高分辨力方法： 在选择合适的光栅栅距的前提下，以对栅距进行测微，电子学中称“细分”，来得到所需的最小读数值。 细分就是在莫尔条纹变化一周期时，不只输出一个脉冲，而是输出若干个脉冲，以减小脉冲当量提高分辨力。 （1）直接细分 直接细分又称位置细分，常用的细分数为4。四细分可用4个依次相距的光电元件，在莫尔条纹的一个周期内将产生4个计数脉冲，实现了四细分。 优点：对莫尔条纹信号波形要求不严格，电路简单，可用于静态和动态测量系统。 缺点：光电元件安放困难，细分数不能太高。 （2）电阻电桥细分法（矢量和法） （c）电阻链细分法（电阻分割法） 第三章 其本要求 掌握不同类型的电容式传感器的原理及其用途，并能设计电容式传感器。 理解与分析各种电容式传感器测量电路的特点。 了解杂散电容产生原因及解决方法。 理解电涡流式传感器的特点、工作原理及应用方法。 了解压磁传感器的工作原理、结构形式、及参数选取的方法。 第四章 其本要求 掌握光电效应及光电器件如：光敏电阻、光敏二极管、光敏三极管、光电池的基本特性、工作原理和应用方法。 熟悉电荷耦合器件结构原理、工作过程及特性。 熟悉码盘式传感器的工作原理、不同码制的特点和相互转换的方法。 掌握光栅传感器结构及莫尔条纹的形成机理、特点以及如何通过测量电路提高精度和辨向的方法。 熟悉光导纤维传光原理和结构形式。 掌握光纤传感器结构测量原理及分类、组成单元中光纤的作用。 第4章 习题 概念类： 1、光电效应分几类，说明其原理并指出相应的光电器件。 2、何谓光电池的开路电压和短路电流？为什么作为测量元件时要采用短路电流输出的形式。 3、光电元件的光谱特性和频率特性的意义有何区别？在选用光电元件时应怎样考虑这些特性。 4、试说明光栅传感器能测量很微小的位移？为什么能判别位移的方向。 5、为什么光电二极管在不同的光照下的伏安特性，在零偏压时，有光电流输出？比较它的伏安特性与光敏三极管的异同。 6、书上的习题（除第2、9、12题）如3 、5、7、8、10、11。 等等，掌握光电传感器工作原理、基本特性、主要特点等。 计算、分析类： 一个21码道的循环码盘，其最小的分辨率是多少？若该角度对应的圆弧长度至少为0.001mm,问码盘直径为多大？若5码道循环码盘其最里面的码道输出“1”，其它输出为“0”，问对应的角度为多