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微纳米测试技术 西安交通大学精密工程与光学测试技术研究所 Testing methods for Micro/Nanotechnolgy 西安交通大学精密工程与光学测试技术研究所 微纳米测试技术:课程总结Testing Methods for MEMS/Nanotechnology 王海容 西安交通大学精密工程与光学测试技术研究所 电话Email: whairong@mail.xjtu.edu.cn 课程编号:12043 * 西安交通大学精密工程研究所 微纳米材料特性 当材料粒子在微纳米尺度，纳米材料的特性与其构成单元微纳米粒子的性质密切相关，而这些介于微观与宏观之间的纳米粒子体系作为一类新的物质层次，出现了许多独特的性质和新的规律. 量子尺寸效应 小尺寸效应、 表面效应 宏观量子隧道效应 等等。 * 西安交通大学精密工程研究所 微纳米材料以上效应的存在，引起材料在物理、化学性能上的奇异变化。如 热学特性 表面活性 烧结特性 力学特性 电学特性 磁学 光学性质等的变化 　对于这些材料、结构性能的测试无论对于功能器件或或结构器件性能的研究都非常重要. 微纳测试的特点 被测尺度微小,处于微纳米级; 样品小,样品固定困难; 信号量相关时信号弱; 微纳米测试尺度范围大107(nm?mm); 现