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潔淨系統型式 亞翔工程教育訓練教材 請尊重智慧財產權，未經允許請勿翻印。陳良銅技師編著 潔淨工程技術講座 大綱 潔淨系統型式 風管系統 FFU系統 軸流風機系統 潔淨室型式 亂流式 → 以潔淨空氣來沖淡潔淨室之污染物 水平層流式 → 以潔淨空氣來置換潔淨室之污染物 垂直層流式→ 以潔淨空氣來置換潔淨室之污染物 混流式 → 包括亂流式與層流式 隧道式 → 隔離製程空間與維修空間 包裹式 → 隔離製程設備（準微環境式） 標準機器介面式 → 隔離製程設備（微環境式） 亂流式潔淨室 水平層流式潔淨室 垂直層流式潔淨室 混流式潔淨室 隧道式潔淨室 包裹式潔淨室 標準機器介面式潔淨室 A 標準機器介面式潔淨室 B 潔淨系統型式 風管系統 FFU系統 軸流風機系統 風管系統 (循環空調箱兼處理外氣) FFU系統 (獨立設置外氣空調箱) 軸流風機系統 (獨立設置外氣空調箱) 大型電子廠架構 電子廠概念圖 平面概念圖 剖面概念圖 電子廠平面配置概念圖 電子廠剖面概念圖 MAU + 空氣循環系統 MAU功能 壓力之控制 濕度之控制 外氣微塵粒之預處理 氣狀污染物之控制 外氣處理空調箱 空氣循環系統 FFU系統 壓力分佈 天花板構造 → 乾式 排煙系統 → 洩漏 → 結露 溫度分佈與控制 潔淨室熱源分佈 FFU系統示意圖 FFU系統排煙 軸流風車系統示意圖 軸流風車系統排煙 * * * 潔淨系統型式 潔淨系統型式 大型電子廠架構 電子廠概念圖 MAU與空氣循環系統 潔淨室型式 亂流式 水平層流式 垂直層流式 混流式 隧道式 包裹式 標準機器介面式 可採風管系統或FFU系統 潔淨空氣必須分佈至所有角落 以潔淨空氣沖淡潔淨室之污染物 適用在Class 100或較不嚴謹之潔淨室 潔淨空氣下游空間之污染物濃度較高 以潔淨空氣推排潔淨室之污染物 適用在醫院手術室等場所 可採FFU系統或軸流風機系統 必須要求潔淨空氣之氣流平行度 以潔淨空氣置換潔淨室之污染物 適用在Class 10或更嚴謹之潔淨室 可採FFU系統或軸流風機系統 沖淡 Class100或Class1k Class10或Class1 Class100或Class1k 沖淡 置換 可採FFU系統或軸流風機系統 稀釋 Class1k Class10或Class1 置換 置換 可採FFU系統或軸流風機系統 稀釋 Class1k Class 0.1 稀釋 置換 Class1k 準微環境室 可採FFU系統或軸流風機系統 稀釋 Class1k Class 0.01 稀釋 置換 Class1k 微環境室 可採FFU系統或軸流風機系統 稀釋 Class1k Class 0.01 稀釋 置換 Class1k 微環境室 稀釋 置換 以風管輸送潔淨空氣 循環空調箱兼處理外氣 天花空間為正壓氣室 獨立設置外氣空調箱 天花空間為微負壓氣室 獨立設置外氣空調箱 示意圖 示意圖 示意圖 潔淨度、溫度及濕度控制 潔淨度控制 溫度控制 濕度控制 溫度控制 潔淨度控制 溫度控制 溫度控制 濕度控制 MAU與空氣循環系統 MAU 潔淨室熱源分佈 空氣循環系統 空氣循環系統功能 潔淨度之控制 溫度之控制 濕度之維持 氣狀污染物之控制 空氣循環系統 MAU 軸流風機系統 壓力分佈 天花板構造 → 濕式 排煙系統 → 洩漏 → 潔淨度 溫度分佈與控制 謝謝指教！ 潔淨室熱源分佈 潔淨系統型式 空氣洗滌加濕之出口相對濕度比二流體加濕明顯高很多，可以大幅降低外氣之預熱溫度，對熱回收CHU之熱水應用非常有利 您提出的問題將是 大家共同學習的動力 * *