集成光电子学的现状与发展前景研究.doc

集成光电子学的现状与分析 摘要 集成光电子学是当今光电子学领域的发展前沿之一，随着光电子器件的发展与广泛应用，光电子集成也随即发展起来。而光电子集成也是光子学发展的必由之路和高级阶段。本论文将主要介绍光电集成器件、光电集成材料以及光电集成技术的发展现状及其前景。 关键词：光电子器件、光电子集成（OEIC）技术、OEIC光发射机器件、OEIC光接收机器件、光中继器件、GaAs光电子集成技术、InP光电子集成技术、硅基光电子集成技术。 一、引言 集成光电子学是当今光电子学领域的发展前沿之一，它主要研究集成在一个平面上的光电子学器件和光电子系统的理论、技术与应用，是光子学发展的必由之路和高级阶段。集成光电子学以半导体激光器等光电子元件为核心集成起来，并以具有一定功能的体系为标志。目前，主要是研究和开发光通信、光传感、光学信息处理和光子计算机所需的多功能、稳定、可靠的光集成体系和光电子集成体系(OEIC:?optical-electronic?integrated?circuit)；光学器件与电子器件集成在一起，则构成复合光电子集成体系。光电子集成（OEIC）技术和光子集成技术是光电子技术的基础，自从20世纪光电子集成的概念被提出以后，光电子集成技术的发展已经取得了一系列重大的突破。随着光电子集成器件的发展，其制造工艺不断向着简约化、标准化、系列化和自动化发展。集成光电子学的理论基础是光学和光电子学，涉及波动光学与信息光学、非线性光学和、半导体光电子学、晶体光学、薄膜光学、导波光学、耦合模与参量作用理论、薄膜光波导器件和体系等多方面的现代光学和光电子学内容；其工艺基础则主要是薄膜技术和微电子工艺技术。集成光电子学的应用领域非常广泛，除了光纤通信、光纤传感技术、光学信息处理、光计算机与光存储等之外，还在向其他领域，如材料科学研究、光学仪器、光谱研究等方面渗透。 二、典型的光电子器件简介[1] 1、有源器件 半导体发光二级管LED（lighting emitting diode） 早期的光纤通讯 使用过LED作为光源。现在LED仍然广泛应用于许多领域，如大屏幕显示、交通指示灯等等。LED是基于半导体有源区材料自发辐射的光源，结构简单，制作方便，但是频谱很宽，且光束方向性差，功率小。 半导体激光器LD（laser diode） 发展到今天，半导体激光器已经成为光纤通信系统的必选光源。它具有很多优势：体积小，功率转换效率高，激光单色性好，调制速度高。半导体激光器波长目前已经覆盖了从360nm到几十um的范围。半导体激光器的基本结构如图1。 半导体光放大器SOA SOA的结构几乎和LD相同，其本质区别在于SOA的两个端面都是完全抗反镀膜，即SOA没有谐振腔。由于不存在光的端面反馈，所以光在器件中以行波方式通过。SOA可用于宽带放大，3dB带宽可达40—50nm。虽然掺饵光纤放大器的出现限制了SOA的应用，但是SOA仍具有很强的优势：体积小，价格便宜，宽带放大，可用于制作光开关及列阵等。 半导体光调制器 半导体光调制器可分为强度调制器件和相位调制器件。由于目前光纤调制系统主要采用强度检测方式，所以强度光调制器占有绝大多数的份额。半导体强度调制器主要有两种，利用量子限制的斯塔克的电吸收调制器件和Mach-Zehnder（M-Z）型光调制器件。 无外加偏压时，电吸收型调制器的吸收峰处于被调制光波长的短波长方向，光波吸收较少；外加反偏压时，电吸收型调制器的吸收峰向长波长方向移动，使被调制光的吸收增大。 M-Z型光调制器有两个波导臂，其中一个加有电极，当电极加上电压后，这个臂上波导的折射率会发生改变，通过该臂的光的相位会发生变化。M-Z型光调制器结构示意图如图2所示。 无源器件 半导体光耦合器 半导体光耦合器主要用于光功率分配，常用的耦合器有星型耦合器和基于多模干涉的耦合器，后者的耦合效率较高。 复用/解复用器件 基于半导体材料的复用/解复用器件主要有三种。一种是利用多层介质膜滤波器制作的复用/解复用器。第二种叫做曲面平面光栅，最后一种叫阵列波导光栅。 半导体光开关 在WDM光纤网络系统中光开关是非常关键的器件。目前有热光开关、M-Z型电光开关、基于SOA的光开关以及基于微光电机系统的光开关。 图1 半导体激光器的基本结构 图2 M-Z型光调制器结构示意图 光电子集成技术 目前集成光电子学的主要研究领域是是研究和开发光通信、光传感、光学信息处理和光子计算机所需的多功能、稳定、可靠的光集成体系和光电子集成体系(OEIC:?optical-electronic?integrated?circuit)。把激光