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Fast-print Corp Quality System Doc.文件编号: ICS-QRE-D01(A)文件名:阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告第 PAGE 9 页 共 13 页
阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告
一、验收目的:
检验设备的各项指标是否达到规格书要求,并评估设备工艺能力及产品品质是否达到我司要求。
二、验收信息:
序号项目信息说明备注1型号Screen LI-5F-M曝光机与威志传送设备2供应商Screen(网屏)、威志3用途阻焊曝光4验收数量15使用厂区/部门/工序ICS/工艺部/阻焊6设备负责人甘斌、曾祥敏7验收人王锋锋、刘成勇8验收时间2015.6.22—2015.7.3三、验收项目及结果:
项目 Item验收标准Aceeptance Standard结果备注机体结构机体完整性机体完整,表面无划痕,损伤,各部件可正常运行OK传送设备不锈钢表面未抛光处理基本规格1.Passline:960±30mm2.设备尺寸:符合规格书设计要求3.运行方向(以操作面看):从右到左4.传送尺寸:415×510mm标准OK传送系统1.各马达符合类型、数量和规格符合规格书要求2.马达运行平稳3.马达皮带(链条)转动正常4.与板接触部位材质符合要求5.各搬送部运行稳定,夹持无异常,无异常噪声待改善翻板机为皮带;传送滚轮间距较大;收放板机吸板不平整;放板后吸嘴会粘板(7/25)电气系统1.马达电流正确2.接线正确无误,并标示正确3.接线柱稳定无松动4.线槽稳固良好5.控制箱清洁良好6.入板电眼调试正常7.电源规格符合我司要求8.电控柜需要有调温装置OK控制系统1.运行正常,软件系统至少包括中文2.电脑设有断电缓冲(UPS)装置3.各控制项目符合要求4.参数有分级修改权限设定5.预留收放板机自动控制端口待改善转换文件软件CU-9000无设置页为英文,无中文;曝光机无分级修改权限设定;NG产品暂存机无NG暂存功能(7/25)机台运行1.曝光机,冷却机,温调机等各部运行正常,无异常噪声或者故障2.开机试运行,抽真空后观察真空度数值是否达标待确认验收期间“主机冷却”常出现黄色警报,未知原因;目前正常产品在High模式下真空值约-5kpa。(7/25)机体温、湿度控制1. 温度控制精度:±1℃2. 湿度控制精度:±5%OK曝光机内部温度约25℃机体灰尘控制洁净度≤100级洁净度按1000级控制警报指示1.故障报警正常2.报警指示灯正确3.各种保护、报警、急停等辅助装置可以正常使用4.做各种违规等操作验证报警功能是否有效5.按急停键验证能否实现急停功能6.设备,控制箱,线路等标牌粘贴正确7.异常情况、生产记录等自动存储功能,保存期限≥6个月待改善曝光主机无报警指示灯;抓板手臂在非指定区域可下降;其他项目此表中未涉及的项目依设备规格书逐项检查待确认能力与品质传送能力1.卡板,掉板,板折等导致的过板失败率<0.3%2.出板产品无损伤、无杂物、无褶皱、无迹印、无翘曲待确认有吸嘴印迹防翘曲能力水平放置前后翘曲≤6mm情况的板能顺利运行,未出现掉板、折板、卡板等,产品生产时不会出现曝光不良现象待改善板边翘曲情况下无法正常对位(7/25)产能产能满足:≥5000m2/month最小开窗1.最小SRO能力:50±5um2.铜上及基材上阻焊undercut or foot:≤5um3.开窗形态良好OK能量均匀性1.开窗大小:250±5um (245~255um)2.均匀性≥95%OK阻焊桥1.≥50um2.无发白、桥弯、掉桥等OK台面印记无台面印记、凹坑、吸盘印等待改善产品图形内有吸盘印曝光条纹无明显曝光过度线条、曝光不良条纹等(依据Taiyo datasheet中能级要求,最高曝光能量均可满足要求)OK有轻微曝光条纹位置精度要求3σ≤10um,cpk≥1.331.玻璃底片检查测试,1年/次--提供测试报告给FP,OK2.定期校准检查,每季度/次--提供校准报
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