信息薄膜理论与技术2013-概论.pptVIP

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2016-07-23 发布于湖北
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信息薄膜理论与技术2013-概论.ppt

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信息薄膜理论与技术2013-概论

2013年9月;内容提要;薄膜的基本概念 ;薄膜的特性;结构和性能：可通过制备工艺参数的调节和成膜后的处理来控制；易于实现器件的小型化、平面化和集成化；薄膜的组分可以突变也可以缓变改变靶材、反应气体、调节放电功率或电流等，形成多层膜和同一层内组分缓变的薄膜; 薄膜的特性与厚度相关；具有亚稳态特性厚度、致密性、结构等，在外界能量（光、热等）作用下，发生显著变化薄膜性能受制备工艺的影响很大不同的工艺，同一工艺不同的参数，所制备的同种薄膜在特性上相差很大;薄膜的特性;薄膜的制备;液相生长法;固相生长;气相淀积法;物理气相淀积;化学气相淀积;物理化学淀积;典型研究应用－GMR head;;56 Years;硬盘（HDD）核心技术;Downsizing of Recording Bit in HDD Recording ;微型磁通门传感器;RFID Chip;美国TI公司13.56M/900M天线、各类标签 ;