第5章 微传感器和微执行器.ppt

第5章 微传感器和微执行器（第1部分）;微传感器的概念 微传感器的分类 基本敏感原理介绍 微传感器的实例 微执行器的分类 基本致动方式介绍 微执行器的实例;微传感器的概念;微传感器的概念;附例：;按传感机理分 压阻、压电、隧道、电容、谐振、热对流 按物理参数分 力（加速度/压力/声） 热（热电偶/热阻） 光（光电类） 电磁（磁强计） 化学和生物医学（血糖/电容化学/化学机械） ;(1)压阻敏感原理;; 1）金属电阻的改变主要由材料几何尺寸的变化引起，因此 起主要作用； 2)半导体电阻的改变主要由材料受力后电阻率的变化引起，因此 起主要作用； 3)半导体的灵敏度因子比金属的高得多，一般在70-170之间。;压阻式传感器输出信号的检测一般需要采用惠斯通电桥;电容式微传感器的基本结构 ;间隙变化型：改变两极板间隙δ 面积变化型：改变形成电容的有效面积A 介质变化型：改变两极间介质的介电常数ε;间隙变化型电容式微传感器;略除高阶无穷小项，得;采用差动电容结构可以大大减小传感器输出的非线性：;(3)隧道电流敏感原理 ; 为直流驱动电压，单位为V； 为隧道电流，单 位为A； 为常数，等于 ； 为有效隧 道势垒高度，单位为eV； 为隧道电极间距，单位为nm。在标准情况下(0.5 eV，1nm)，隧道电极间距 变化0.1nm时，隧道电流 改变2倍。利用这个原理，可以设计各种微传感器。;(4)压电敏感原理;压电材料的特性常常用电荷灵敏度系数来表示 电荷灵敏度系数：沿i轴在材料表面产生的电荷与沿j轴所加的力F的关系;(5)谐振式敏感原理; Howe[1987]发展了一个分析承受纵向力的振动梁在模态1时的固有频率的理论 ;(6)热对流式敏感原理;传感器 类型;各种敏感原理的优缺点;微传感器的实例(1)——力学;微加速度传感器;;压敏电阻;;电容式;1) 平行板电容式微加速度计 ;2) 梳状电容式微加速度计 ; 梳状结构的电容式微加速度计一般采用叉指结构，属于硅材料线加速度计，其结构加工工艺与集成电路加工工艺兼容性好，可以将敏感元件和信号调理电路用相同的工艺在同一硅片上完成，实现整体集成。 ;隧道电流式 ;检测质量电极;压电式微加速度计 ;微陀螺仪;线振动(音叉式)微陀螺仪 ;角振动式微陀螺仪 ;微压力传感器;压阻式;氮化硅;电容式;谐振式;微型麦克风 ;微传感器的实例(2)——光学;当入射光光子的能量大于被照射材料的逸出功时，就有光电子发射，称为外光电效应。 利用这种效应制成的传感器有真空光电管、光电倍增管等。;利用半导体光电导效应可制成光敏电阻 其基本原理是辐射时半导体材料中的电荷载流子（包括电子和空穴）的增殖使其电阻率发生变化。;如图所示，当透光性较强的半导体基体A接受光子能量后，两光敏电阻的连接处可产生电势。产生的电势可以通过电桥电路中电阻的改变测量出来。;一种特殊的材料，当有光照时其自身电阻会发生变化。 ;图中的光电二极管由p型和n型掺杂的半导体层组成; 图中的光电子管由p－、n－和p－掺杂层组成。入射的光子能量可以被转换成从这些器件中输出的电流。; 热电偶是测量热的最常用的传感器 工作原理：依靠两个不同金属线的末端产生的电动势，此电动势在两个导线的交节点（称为节点）被加热的情况下产生。;热电偶;热电偶原理微温度传感器的一个严重缺点：输出信号随着线和节点的尺寸的减小而降低。 微热电堆是小型化热传感更理想的解决方案。;Choi和Wise在1986年研制的微热电堆;热双层片传感器 对于传感和执行而言，热双金属片效应是很常用的方法。这种效应可将微结构的温度变化转变为机械梁的横向位移。;微型磁强计;微传感器是构成任何生物MEMS产品最基本的组元。在生物医学中，常用的两类传感器是： (1)生物医学传感器 (2)生物传感器 ; 生物医学传感器用来检测生物学物质，生物传感器可以被更广地定义为任何含有生物成分的测量设备。这些传感器通常涉及生物分子，例如生物抗体和生物酶，它们与被测分析物互相作用。;生物医学传感器实例;生物传感器;化学传感器用来检测特定的化合物。 工作原理：很多物质对化学作用都很敏感。比如，很多金属长时间暴露在空气中都有被氧化的危险。金属表面显著的氧化层能改变材料的性能，例如金属的电阻。这些自然现象就是设计和发展微化学传感器所依据的原理。 ; 材料对特定化学物质的敏感性是很多化学传感器的基本原理。; 有机聚合物和嵌入的金属植入物一起使用。当这些聚合物暴露在某种气体下时，可以使金属的电导发生变化。例如，一种