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铁电材料的研究热点 摘要：铁电材料具有优秀的电学性能，其电子元件集成度高、能耗小、响应速度快。目前研究者将铁电材料同其它技术相结合，使新诞生的集成铁电材料性能更为优秀。本文介绍了有压电材料、储能用铁电介质材料、有机铁电薄膜材料、多铁性材料、铁电阻变材料的研究状况。 关键词：铁电；压电材料；铁电储能；有机铁电薄膜材料；多铁性材料；铁电阻变 1 铁电材料的研究背景 铁电体早在20世纪40年代就引起物理学界的关注，但由于大快铁电晶体材料不易薄膜化，与半导体和金属不相兼容，使其未能在材料和信息领域扮演重要的角色，随着薄膜技术的发展，克服了制备高质量铁电薄膜的技术障碍，特别是能在不同衬底材料上沉积高质量的外延或择优取向的薄膜，使铁电薄膜技术和半导体技术的兼容成为可能。由于人工铁电材料种类的不断扩大，特别是铁电薄膜技术和微电子集成技术长足发展，也对铁电材料提出了小型化，集成化等更高要求，正是在这样的研究背景下，传统的半导体材料和陶瓷材料结合而形成新的叫交叉学科——集成铁电学（Integrated Ferroc-Icctrics）出现了，并由此使铁电材料及其热释电器件的研究开发呈现了两个特点：①是由体材料组成的器件向薄膜器件过渡；②是由分立器件向集成化器件发展。 集成铁电体是凝聚态物理和固态电子学领域的热门课题之一。铁电材料有着丰富的物理内涵，除了具备铁电性之外，还具有压电性、介电性、热释电性、光电效应、声光效应、光折变效应以及非线性光学效应等众多性能，可用于制备电容器件、压力传感器、铁电存储器、波导管、光学存储器等一系列电子元件，铁电材料因其广阔的应用前景而倍受关注。 目前的铁电器件往往仅单独用到了铁电材料中的单一性能，如压电性或者热释电性。将铁电材料中的性能综合在一起或者将铁点技术同半导体等其他技术结合在一起的集成铁电材料有着更为强大的功能。铁电材料的研究进展主要包括[1]：①提高现有材料的单一性能，儒压电材料中准同型相界以及合适的晶格取向会大幅度提高压电系数。②开发新型铁电材料，如存储能量的电介质和有机铁电材料。③将铁电性同其他性能结合，包括可以实现磁电互控的具备多种初级铁性的多铁材料，以及可以通过铁电极化调控材料内部电阻的铁电阻变材料。 2 压电材料 由于压电薄膜具有优异的压电效应和逆压电效应并且介电常数高，稳定性好，因此制备出来的微型传感器和驱动器等压电器件有众多优势：①在高频共振体系中，传统的高频静电驱动器虽然有很大的进展，但是这类器件不仅要求发达的图像成形技术以满足小尺寸要求的同时还要克服容易受到外界环境的巨大影响的弱点，而压电材料本身谐振频率就在MHz~GHz之间，并且有着很好的温度稳定性，工艺制造相对简单很多。而且已经制备出了如扫描声学显微镜[2]和薄膜声波谐振器(FBAR)[3]等MEMS器件。②微型压电传感器消除了必要的电荷或者电压之外并不需要额外动力，能耗很低并且具有宽广的动态范围和低噪音层。③压电材料在很小的驱动电压下就能产生很大的振幅，几乎没有滞后现象，这意味着响应速度非常快，而其它的基于电流的驱动设备加热式或者磁式驱动器的反应较慢。④在微米量级上，由于传统由电磁驱动器尺寸达不到要求，已经很难应用在MEMS上，而压电传感器却有着小尺寸，高能量集成的有点，并且像静电感应那样，压电传感器或者驱动器只需要点接触就能产生电信号，在芯片中很容易处理这些电信号。 3 储能用铁电介质材料 作为脉冲功率装置的负载提供电磁能量，主要由初级能源，能量储存系统、能量转换和释放系统组成。目前，主要有机械能储能、电化学储能、电容器储能3种方式用于脉冲功率技术的能量储存。相对于其它储能器件，电容器储能因为具有储能密度高、能量释放速度快、可靠性高、安全性高、价格低廉以及较易容易实现轻量化和小型化等优点，因此成为目前高功率脉冲电源中应用最广的储能器件之一[3-4]。 3.1 BaTiO3基陶瓷 以BaTiO3陶瓷为代表的铁电体具有较高的介电常数，是制造铁电陶瓷电容器的基础材料，也是目前国内外应用最广泛的电子陶瓷材料之一。在介电层厚度确定的情况下，材料的介电常数越高，电容器的比电容越大，越易于实现器件的小型化。许多研究结果表明，掺杂可以改善BaTiO3陶瓷的介电性能从而更有利于储能电容器应用，可以掺杂的元素离子包括Nd3 +，Ca2 +，Sr2 +，La3 +，Sn4 +，Zr4 +，Mg2 +，Co3 +，Nb5 +，Mn4 +和稀土离子的掺杂［5］。 最近报导了一种具有良好温度稳定性的高介电常数、高电阻率的BaTiO3-0. 3BiScO3陶瓷材料。用该陶瓷制作的单介电层电容器室温73 kV/mm 时的储能密度达到6.1J/cm3 ，这显著高于X7R 商用电容器的相应性能。并且，该电容器在300 ℃仍保持高储能密度，从而具有高