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电子显微分析 SEM信号与图像衬度
第二节 SEM信号与图像衬度;一、固体样品受入射电子激发产生的各种物理信号;固体样品受入射电子激发产生的各种物理信号 ;等离子激发 ;SEM信号的作用深度;1、二次电子信号;二次电子分辨率1.5-6nm;探测器（二次电子及背散射电子）;2、背散射电子信号;3、吸收电子信号;4、透射电子信号;透射系数与质量厚度;5、特征X射线信号 ;6 、俄歇电子;7、（导致）阴极荧光的简单作用原理 ;特征能量损失电子;固体样品发射的电子能量分布曲线 ;背反射图像与吸收图像对比;二次电子图像与背反射图像对比;二、物理信号像衬度（表面形貌衬度）;样品倾斜对二次电子信号的影响 ;;δ-θ关系曲线 ;δ-θ关系公式;形貌衬度原理 ;
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