14F2CN41 版曝光治具及使用该治具的光刻机S1.docVIP

PAGE 1 权 　 利　 要　 求　 书 1. 一种铬版曝光治具，其特征在于，所述治具用于定位放置多片铬版进行曝光，包括将铬版在第一轴向上定位的第一轴向定位条，与第一轴向定位条一体成型且垂直呈十字形设置的、将铬版在第二轴向上定位的第二轴向定位条，第一轴向定位条或/和第二轴向定位条的两端设有与外部曝光平台上的气孔匹配的定位孔，以使得定位钉穿过所述定位孔和气孔将所述治具定位固定。 2. 如权利要求1所述的铬版曝光治具，其特征在于，所述第一轴向定位条、第二轴向定位条的两侧缘分别沿垂直于所在的轴向方向延伸形成定位块，所述定位块抵顶于所述铬版。 3. 如权利要求2所述的铬版曝光治具，其特征在于，所述相邻两个定位块的距离小于铬版对应边的边长。 4. 如权利要求2所述的铬版曝光治具，其特征在于，所述定位块呈半圆形、椭圆形或方块形。 5. 如权利要求1所述的铬版曝光治具，其特征在于，所述定位孔呈对称设置。 6. 一种光刻机，所述光刻机的曝光平台上均匀设置有呈点阵状排列的气孔，其特征在于，所述光刻机包括如权利要求1至5中任一项所述的铬版曝光治具，及穿过所述定位孔和气孔将所述治具定位固定的定位钉。  说　　 明　　书 铬版曝光治具及使用该治具的光刻机 技术领域 本实用新型涉及光罩制造技术领域，尤其涉及一种铬版曝光治具及使用该治具的光刻机。 背景技术 现有的铬版曝光为一张一张的曝光，大铬版（如400毫米*450毫米的）曝光时间在2小时左右，小铬版（如3英寸、4英寸或5英寸的）曝光时间在15分钟左右。在制作小铬版时，由于曝光时间较短，就需要操作人员守在机器旁，等待15分钟做一次取版、放版的操作，且此操作需要5分钟时间，造成了工时浪费，且生产效率低。 实用新型内容 本实用新型实施例所要解决的技术问题在于，提供一种生产效率高，减少工时浪费的铬版曝光治具及使用该治具的光刻机。 为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提出了一种铬版曝光治具，所述治具用于定位放置多片铬版进行曝光，包括将铬版在第一轴向上定位的第一轴向定位条，与第一轴向定位条一体成型且垂直呈十???形设置的、将铬版在第二轴向上定位的第二轴向定位条，第一轴向定位条或/和第二轴向定位条的两端设有与外部曝光平台上的气孔匹配的定位孔，以使得定位钉穿过所述定位孔和气孔将所述治具定位固定。 进一步地，所述第一轴向定位条、第二轴向定位条的两侧缘分别沿垂直于所在的轴向方向延伸形成定位块，所述定位块抵顶于所述铬版。 进一步地，所述相邻两个定位块的距离小于铬版对应边的边长。 进一步地，所述定位块呈半圆形、椭圆形或方块形。 进一步地，所述定位孔呈对称设置。 相应地，本实用新型实施例还提供了一种光刻机，所述光刻机的曝光平台上均匀设置有呈点阵状排列的气孔，所述光刻机包括如上所述的铬版曝光治具，及穿过所述定位孔和气孔将所述治具定位固定的定位钉。 本实用新型实施例的有益效果是：通过采用相互垂直呈十字形设置的第一轴向定位条和第二轴向定位条，且第一轴向定位条或/和第二轴向定位条的两端设有与曝光平台上的气孔匹配的定位孔以进行定位的技术手段，从而实现了一次曝光多张铬版，达到了提示机器利用率，减少工时浪费，提升生产效率的技术效果。 附图说明 图1是本实用新型实施例的铬版曝光治具的结构示意图。 图2是本实用新型一实施例的铬版放置示意图。 图3是本实用新型另一实施例的铬版放置示意图。 附图标号说明 铬版100铬版曝光治具10第一轴向定位条11第二轴向定位条12定位孔13定位块14 具体实施方式 需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合，下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。 请参考图1～图2，本实用新型实施例提供了一种铬版曝光治具10，所述铬版曝光治具10呈十字形，适用于一次性曝光多张铬版100，尤其适用于多张小铬版的曝光。所述铬版曝光治具10包括将铬版100在第一轴向上定位的第一轴向定位条11，与第一轴向定位条11一体成型的、将铬版100在第二轴向上定位的第二轴向定位条12，且第一轴向定位条11或/和第二轴向定位条12的两端设有与外部曝光平台上的气孔匹配的定位孔13，以使得定位钉穿过所述定位孔13和气孔将所述治具定位固定。其中，第一轴优选为X轴，第二轴优选为Y轴。 所述第一轴向定位条11、第二轴向定位条12的两侧缘分别沿垂直于所在的轴向方向延伸形成定位块14，所述定位块14用于抵顶所述铬版100。所述相邻两个定位块14的距离小于铬版100对应边的边长，从而实现了对每一小铬版100边缘的定位支撑。优选地，所述定位块14呈半圆形、椭圆形或方块形。借由所述定位块14减少了所述铬版曝光治具10与铬版100的接触面积，实现精确定位的同时，减少了