第6章压电传感器精编.ppt

压电传感器是一种典型的自发电式传感器，它以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，电介质表面产生电荷，从而将力、压力、加速度、力矩等非电量转换为电量。 压电传感器具有使用频带宽、灵敏度高、信噪比高、结构简单、工作可靠及质量轻等优点，可以对各种动态力、机械振动和冲击进行测量，在力学、声学、医学、宇航等方面得到广泛的应用 ;2.1 压电效应;;;2.1.1 石英晶体压电效应的机理 ;图2-2 石英晶体的压电模型 ;;;;2.1.2 石英晶体压电效应的定量计算;;压电材料是用于制作压电式传感器的敏感元件，因此，选择合适的压电材料是设计高性能压电传感器的关键，选择时一般需考虑以下几个因素： 1）转换性能：应具有较大的压电常数； 2）机械性能：应具有机械强度高、机械刚度大，有较宽的线性范围和较高的固有频率； 3）电气性能：应具有较高??电阻率和较大的介电常数，防止电荷泄露；;4）温度稳定性：要求具有较高的温度稳定性，较高的居里点温度和较宽的温度工作范围； 5）时间稳定性：压电效应不随时间而蜕变。 应用于压电传感器的压电材料一般由三类：压电晶体、压电陶瓷和新型压电材料。表2-1列出了常用的压电材料的主要性能。;表2-1 常用的压电材料的主要性能;2.2.1 石英晶体;2.2.2 压电陶瓷;;;;2.2.3 新型压电材料;;2.3 压电传感器的等效电路和测量电路;2.3.1 压电传感器的等效电路;;;;2.3.2 压电传感器的测量电路;;;;;;;;;;;2.3.3 压电传感器的并联与串联 ;1 压电传感器的并联;2 压电传感器的串联;2.4 压电传感器的应用;2.4.1 压电式力传感器;;表2-2 YDS-78型传感器性能指标;2.4.2 压电式压力传感器;;2.4.3 压电式加速度传感器;;;;2.4.4 集成压电式传感器;思考与练习题