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超精密加工技术文献综述 杨雪情1 （1.江苏大学机械工程学院 江苏 镇江212013 ） 摘要： 天然单晶金刚石具有极高硬度和强度、超高耐磨性、极好导热性、能刃磨出锋利的刃口等一系列优异性能，使其成为超精密加工中不可代替的刀具材料。然而，这些特点也导致了天然金刚石晶体加工效率低、损耗大、分割质量不稳定等各种加工难题。这限制了天然金刚石晶体的利用率，使刀具的成本居高不下，制约了超精密加工技术发展。因此，高效率高质量的分割天然单晶金刚石已成为天然金刚石刀具制造的重要基础技术之一。 关键词：天然金刚石道具；激光切割； Literature Review of Ultra-precision Machining Yang Xueqing 1 (School of Mechanical Engineering, Jiangsu University, Zhenjiang,Jiangsu212013) Abstract: Natural diamond has a series of outstanding performances like high hardness and strength, great wear resistance, excellent thermal conductivity, minimum blade edges radius, etc, wh