第三章应变传感器研究.ppt

3.1 电阻应变式传感器 3.2 薄膜应变电阻及传感器 3.3 电阻应变传感器使用中的注意问题 ;应变传感器;3.1 电阻应变传感器;电阻应变效应：金属导体在外力作用下发生机械变形时，其电阻值随着所受机械变形(伸长或缩短)的变化而发生变化的现象。 应变片压阻效应：半导体材料在受到外力作用时，其电阻率ρ发生变化的现象;一、应变片的结构;;二、 电阻应变片的分类 （1）按应变片敏感栅的材料不同。 金属应变片和半导体应变片 （2）按应变片的工作温度不同： 常温应变片：-30～60℃ 中温应变片：60～300℃ 高温应变片：300℃以上 低温应变片：低于-30℃ （3）按应变片的用途不同， 一般用途应变片 特殊用途应变片：水下、疲劳寿命、 抗磁感应、裂缝扩展等;三、常用应变片;1、丝式应变片;2、箔式应变片;优点： 敏感栅的形状可变； 表面积大,散热性能好, 允许通过电流大； 蠕变小,疲劳寿命高；;3、半导体应变片;3.2 薄膜应变电阻及传感器;;（2） 半连续膜。这种膜的厚度在10-8～2×10-8m之间,膜面呈不连续的岛状,各岛之间有若干通道。  （3）连续膜。这种膜的厚度一般大于2×10-8m，膜面上基本看不到岛状结构。这种膜的稳定性远远高于前两种，力敏元件均采用这种膜。 ;;二、薄膜的工作原理;用相对变化量表示，则有 ;由上式可得;金属薄膜， πE值很小，电阻率基本上与应力无关，可以忽略； 材料的灵敏系数主要取决于几何尺寸的变化； 在弹性形变范围内，k在1.5~2之间。 半导体材料 具有良好的弹性性能和压阻效应，它的压阻系数很大； k主要由πE决定，可高达100以上。 可以制作出灵敏度很高的应变片和压力传感器。 ;薄膜应变传感器的特点; 合金型应变片和传感器, 稳定性很高, 电阻温度系数很小（一般为（10-5～10-6）／℃） 薄膜应变传感器适用于航天、航空工业,以及对稳定性要求较高的测控系统中。 灵敏系数较低（一般约为1.7～2.2左右）,大体同金属丝式和箔式应变片的相当。 ;二、蠕变、蠕变曲线、零点漂移曲线;蠕变曲线： ??于已经安装好的应变片，在恒定温度和承受恒定的应力的情况下，指示应力随时间变化的曲线。 零点漂移曲线： 对于已经安装好的应变片，在恒定温度和在不承受应力的情况下，指示应力随时间变化的曲线。;　 CEC1000型传感器在室温下的蠕变曲线 ;薄膜传感器在室温下的零点漂移曲线 ;　120℃时薄膜传感器的蠕变曲线 ;3.3　电阻应变传感器使用中应注意的一些问题;半导体电阻应变敏感元件：在基片制作四个相同的电阻。这四个电阻接成电桥，并且将阻值增加的两个电阻对接，将阻值减小的两个电阻对接，使电桥的输出最大。;一种灵敏度K温度漂移的补偿电路 ;如图，电源电动势为E， R1、R2 、R3、R4为电阻应变片，在没有外力作用时，R1=R2=R3=R4=R0。当存在外力作用时，R1与R4的相对变化量为：; 总结;