VSCEL 苗青 11720901.docxVIP

VCSEL激光器及阵列光源苗青 2012年6月2日 摘 要：本文通过对VSCEL的结构和原理的分析，结合与传统的激光器的结构的对比，介绍VCSEL的特点优点及目前结合其优点的应用的趋势。最后通过对VSCEL的物质上的构成对其核心的制作工艺和在制作工艺上的发展趋势。 Abstract: This article is mainly about the structure of VSCE and the analysis of theory of it ,Combining the comparison of the traditional laser，,this article describe the advantage of the VCSEL and the application of it。At last, this article describe the production process and the development trend. 1引言: 垂直腔表面发射激光器VCSEL（Vertical cavity surface emitting laser）是近年来迅速发展起来的一种新型的有源半导体激光器件。近年来，垂直腔面发射激光器(Vertical-Cav—ity Surface—Emitting Lasers，VCSELs)发展迅速