法布里珀罗干涉腔薄膜技术研究.pdfVIP

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2018-05-18 发布于安徽
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法布里珀罗干涉腔薄膜技术研究.pdf

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Abs仃act 硕士论文 Abstract is usedasa resonant The cavity Fabry-P6rotcavitywidely high-resolutionspectrometer,a inlaser selectorin basicelementin physics，aturning veryhigh-resolutionspectroscopy,a isstilldifficultto abroadband dielectric opticalbistability,etc．However,itdesign multilayer mirrorswithlowstressin for iswellknownthatthestresshasa cavity．It coatingFabry-P6rot on insome beSO asto effecttheflatnessofthesubstrate great surface，andcase，itmay high awasteofthefabricationofthe with itis cause necessary parallelplate highprecision．Thus totakethe stressintoaccountwhile the ofthe coating consideringopticalpropertiescoating inthe cavity． Fabry-Pdrot is onthe ofmulti-beam Thestructureofa based Fabry—Pdrotcavity，which principle ofthe ofreflectivefilmsonthe described．Andtheeffects interference，is opticalproperties free andtransmissioninthe are finesse cavity fringe，the range Fabry-Pdrotanalyzed spectral a inthis influenceofthe stressonthe of is Fabry-P6rotcavity paper．The coating performance film are in also effectfactorsand methodsof stress discussed．Besides，the measuring given with filmsand filmsare IAD，Ti02 Si02 respectively details．Byelectron-gunevaporation and havecalculatedthe constantsandfilm onK9 fusedsilicasubstrate．We optical deposited showthatwhen onfusedsilicasubstrate．thestressesin stressofthem．Results deposited Ti02 filmsaretensileandin are thebroadband dielectricreflective Si02 compressive．If multilayer filmHses and as andlowindex stressinitwillbe alot． Ti02 Si02high material，the improved t_hreekindsof of and onfused Therefore，we configurationTi02 SiO：multilayer present layer a of from600nmtO silicasubstratewithreflectivity92．5％ranging antireflection belowtheflatisusedtomakethefilmstress Si02 coatingjust complementary tozero． close dielectricreflective word：The film，Film Key Fabry-P6rotcavity，Broadbandmultilayer stress，Ti02 Titaniumdioxide ，Si02 Silieondioxide Ⅱ 硕士论文法布里一珀罗干涉腔的薄膜技术研究目录摘要…………………………………………………………………