工程光学第3章形位误差测量解析.ppt

概述 §3-2 平面度误差测量 §3-3 圆度误差测量 §3-1 直线度误差测量 §3-5 垂直度误差测量 §3-4 平行度误差测量 §3-6 同轴度误差测量 第三章 形状和位置误差测量 §3-7 误差分离法在行为误差测量中的应用 四、形位误差的评定 形位误差用最小包容区域评定。最小包容区域是包容实际被测要素且具有最小宽度或直径的区域。它与公差带形状、位置、方向相同。最小包容区域的宽度或直径是形位误差。 概 述 1．干涉法 对于小尺寸精密表面的直线度误差，可用光学平晶干涉法测量。把平晶置于被测表面上，在单色光的照射下，两者之间形成黑色等厚干涉条纹，若条纹的弯曲度为b，相邻两条纹的间距a值，则 f=b/a 乘以（二分之一波长） 对于较长的表面，当没有长平晶时，也可采用圆形平晶进行分段测量。 §3-1 直线度误差测量 §3-1 直线度误差测量 2．跨步仪法 §3-1 直线度误差测量 i 0 1 2 3 4 5 6 7 ai 0 0 +3 +2 -3 0 -4 +3 yi 0 0 +3 +8 +10 +12 +10 +11 用自准直仪所发出的光线为测量基线，测出被测直线相对于该理想直线的偏差量，再经数据处理求出被测线的直线度误差。适用于大