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第九章 扫描电子显微镜 (Scanning Electron Microscope,SEM) 材料现代研究方法 电子与物质作用产生什么？ 电磁透镜像差包括哪些？如何加以校正？ 背散射电子和二次电子的区别？ 场发射电子显微镜和一般的扫描显微镜的不同之处？场发射电子枪的种类？ 电子探针显微分析的基本原理？ 扫描电子显微镜结构和成像原理 9.2 场发射扫描电子显微镜 9.3 电子与物质的相互作用 9.1 第九章 扫描电子显微镜 电子探针显微分析 9.4 其它电子成像技术结合EDS分析 9.5 EMPA-扫描电子显微镜分析方法和应用 9.6 9.1 电子与物质的相互作用 1 2 电子散射 背散射电子 3 二次电子 9.1.1 电子散射 当高速运动的电子与物质的原子碰撞以后，由于原子核的质量远大于电子的质量因而除了电子的动量发生改变以外，其能量几乎不变，即发生弹性散射。 图9-1 电子与物质的相互作用 9.1.1 电子散射 (1) 弹性散射 （9-1） (2) 非弹性散射 (3) 多次散射 图9-2 散射截面与原子序数的相互关系  9.1.2 背散射电子 入射电子经过试样表面散射后改变运动方向后又从试样表面反射回来的电子成为背散射电子，又称背反射电子。 背反射系数可用 表示，其中K, m 均为与原子序数有关的常数。  9.1.3 二次电子 二次电子发射系数可用下式表示： (9-2) 图9-3 二次电子散射几率示意图 二次电子可以提供样品的表面形貌特征  9.1.3 二次电子 图9-4 二次电子的逃逸  9.1.3 二次电子 图9-5 散射电子的能量分布  9.1.3 二次电子 图9-6 散射电子的产率  9.1.3 二次电子 图9-7电子与物质的作用的体积 9.2 扫描电子显微镜结构和成像原理 1 2 扫描电子显微镜的工作原理 扫描电子显微镜的结构 3 4 扫描电子显微镜的性能 扫描电子显微镜的特点 5 6 样品制备 影响电子显微镜影像品质的因素  9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理 (一) 电磁透镜的工作原理 在电子显微镜本身结构方面，最主要的电磁透镜源自J.J. Thomson作阴极射线管实验时观察到电场及磁场可偏折电子束。 图9-8 电子在磁透镜中的运动轨迹  9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理 圆的半径: (9-3) 焦距f可用下式来表示： (9-4)  9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理 图9-9 透镜的球差 球面像差（球差）：电子透镜中，由于透镜中离轴远的地方聚焦能力要比离轴近的地方强，其成像点较沿轴电子束成像之高斯成像平面距透镜为近  9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理 图9-10 透镜的色差 色差：电子的运动速度不同，其波长也不同，因而在电磁透镜的成像位置也不同，即形成色差。  9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理 图9-11 透镜的像散 像散：由透镜磁场不对称而来，使电子束在二互相垂直平面之聚焦落在不同点上。  9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理 （二）二次电子像 由于二次电子的发射区只略微比电子束直径稍大一些，但比背散射电子发射区要小很多，因此，二次电子成像的分辨率比较高。 （三）背散射电子像 背散射电子为弹性散射，其能量在入射前和散射后保持一致，因此，较深层的背散射电子由于能量不变也可以逸出样品的表面，所以背电子散射的监测深度比二次电子大。  9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理 （四）吸收电子像 由于入射电子可以被样品表面吸收使之带上负电荷，因此可以测定样品的接地电流从而得到吸收电子像。 （五）透射电子像 对于薄膜样品，入射电子可以透过样品，通过测定透过电子的数量，就可得到透射电子像。  9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理 （六）电子通道花样 对于单晶体，晶体的趋向直接影响着背散射电子和二次电子的强度。 图9-12 钒单晶的（111）通道花样（背散射电子）  9.2.2 扫描电子显微镜的结构 扫描电子显微镜主要由电子光学系统、扫描系统、信号检测放大系统、图像显示和记录系统、电源和真空系统组成． 图9-13 扫描电子显微镜结构图 图9-14 扫描电子显微镜实物图  9.2.2 扫描电子显微镜的结构 （1）电子光学系统 （2