第11章半导体传感器概念.ppt

第九章　半导体传感器 半导体传感器 气敏传感器 湿敏传感器 色敏传感器 气敏传感器 用途：主要用于工业上天然气、煤气、石油化工等部门的易燃、易爆、有毒、有害气体的监测、预报和自动控制, 气敏元件是以化学物质的成分为检测参数的化学敏感元件。 材料：气敏电阻的材料是金属氧化物半导体（分P型如氧化锡和N型如氧化钴），合成材料有时还渗入了催化剂, 如钯（Pd）、铂（Pt）、银（Ag）等。 气敏传感器工作原理 敏感材料的功函数吸附分子的电子亲和力--?吸附分子从材料中夺取电子（负离子吸附、氧化型气体），敏感材料的载流子减少-? 　　，如　、 敏感材料的功函数吸附分子的离解能--?吸附分子向材料释放电子（正离子吸附、还原型气体），敏感材料的载流子增加-? 　　，如　、 为提高气体灵敏度，一般需加热以加快氧化还原反应（到200～450℃）,同时加热还能使附着在测控部分上的油雾、尘埃烧掉。 气敏传感器类型及结构 电阻型半导体气敏传感器 由三部分组成：敏感元件、加热器和外壳 烧结型、薄膜型、厚膜型 非电阻型半导体传感器 MOS二极管气敏器件 MOS场效应晶体管气敏器件 湿敏传感器 绝对湿度和相对湿度 绝对湿度：一定温度和压力条件下，每单位体积的混合气体中所含水蒸气的质量，单位g/m3，一般用符号AH表示。 相对湿度：气体的绝对湿度与同一温度下达到饱和状态的绝对湿度之比，一般用符号%RH表示。 在实际使用中多使用相对湿度这个概念。 氯化锂湿敏电阻 原理：材料吸湿潮解或干化（能互逆），使器件的电阻率发生变化。 氯化锂通常与聚乙烯醇组成混合体，其溶液中的离子导电能力与浓度成正比。当溶液置于一定温湿场中, 若环境相对湿度高, 溶液将吸收水分， 使浓度降低, 因此, 其溶液电阻率增高。 反之, 环境相对湿度变低时, 则溶液浓度升高, 其电阻率下降 半导体陶瓷湿敏电阻 用两种以上的金属氧化物半导体材料混合烧结而成的多孔陶瓷。 导电机理：类似气敏电阻 一般有两种： 负特性湿敏半导体陶瓷：电阻率随温度增加而下降 　水分子中的氢原子具有很强的正电场，当水在半导瓷表面吸附时，有可能从半导瓷表面俘获电子，使半导瓷表面带负电。对于P型半导体，将吸引更多的空穴到达其表面，使其表面层的电阻下降。对于N型半导体？…… 正特性湿敏半导体陶瓷：电阻率随温度增加而增大 　　当水分子附着半导瓷的表面使电势变负时，导致其表面层电子浓度下降，但…… 色敏传感器 色敏传感器是光敏传感器的一种。光敏器件一般检测的都是在一定波长范围内光的强度，而半导体色敏传感器则可用来直接测量从可见光到近红外波段内单色辐射的波长。 对于用半导体硅制造的光电二极管, 在受光照射时, 若入射光子的能量hυ大于硅的禁带宽度Eg, 则光子就激发价带中的电子跃迁到导带而产生一对电子-空穴。 光在半导体中传播时的衰减是由于价带电子吸收光子而从价带跃迁到导带的结果, 这种吸收光子的过程称为本征吸收。 不同材料对不同波长的光吸收程度不一样。对硅而言，波长短的光子衰减快, 穿透深度较浅, 而波长长的光子则能进入硅的较深区域。 浅的P-N结有较好的蓝紫光灵敏度, 深的P-N结则有利于红外灵敏度的提高, 半导体色敏器件正是利用了这一特性。 　 半导体色敏传感器工作原理 依据：半导体中不同的区域对不同的波长分别具有不同的灵敏度。 在具体应用时, 应先对该色敏器件进行标定。 测定不同波长的光照射下, 该器件中两只光电二极管短路电流的比值ISD2／ISD1, （ISD1是浅结二极管的短路电流, 它在短波区较大， ISD2是深结二极管的短路电流, 它在长波区较大）。 确定二者的比值与入射单色光波长的关系。 根据标定的曲线, 实测出某一单色光时的短路电流比值, 即可确定该单色光的波长。  半导体色敏传感器的基本特征 光谱特性 短路电流比－波长特性 温度特性 　为什么不能用（二极管的）光谱特性（光生伏特效应），而用二级对管的短路电流比测量单色光的波长？ 　　1.消除光强的影响。2.温度影响（得到补偿） 磁敏传感器（补） 磁阻电阻 工作原理：半导体在磁场作用下有霍尔效应，电阻也会变化 电阻率的相对变化：　　　　　其中 　是电子迁移率 磁阻二极管 工作原理：利用洛伦兹力的作用 二极管的结构特点：P-I-N结构，其中本征区I的长度较长。本征区的两个侧面一个制成光面、一个制成毛面。在毛面电子---空穴对易复合消失、电流小。在光面电子---空穴对不易复合消失、电流大。可测量磁场的大小和方向。 特点：测量灵敏度高（比霍尔元件高几百倍）、能判定的方向。 毛面 P N 半导体传感器的应用（1） 半导体传感器的应用（2） 热电式传感器（补） 热电偶 热电阻 集成温度传感器 热电偶传感器 热电偶工作原理 热电现象：两种不同材