电子能谱分析法研讨.ppt

* * 俄歇电子谱的定性和定量分析 定性分析：根据俄歇谱峰所对应的能量可用来识别元素。 定量分析：根据俄歇电流的大小（即俄歇峰所包含电子的多少）可以确定元素的含量。 * 定性分析 定性分析的任务：根据测定试样的微分谱上负峰的位置，进行元素分析。 其方法与X射线物相分析一样。通过测定建立起各元素的标准谱图，测定试样的俄歇谱与标准谱图进行对比。 * 各元素以及各激发线的俄歇电子动能图。 每个元素均具有多条激发线。 每个激发线的能量是固定的，仅与元素及激发线有关。 原子序数3-10的原子产生KLL俄歇电子。 对于原子序数大于14的原子还可以产生KLM，LMM，MNN俄歇过程。 从图中分析得出： * 定性分析的步骤： 1）首先把注意力集中在强峰上，把对应于此峰的可能元素减少到2~3种，然后查出这几种可能元素的标准谱逐一对比核实，最后确定是什么元素； 2）元素被确定后利用标准谱图，标明属于此元素的所有峰； 3）重复上面的步骤找出余下峰的可能元素，直到全部查清； 4）最后，如果还有难以确定的峰，就可能是损失一定能量背射出来的初级电子的能量损失峰，此时可通过改变初级电子束能量，观察此峰是否移动，若跟着移动，就不是俄歇谱峰。 * 定量分析 根据微分谱上的正峰和负峰的高度差，即峰—峰值IiWXY，定量确定元素的含量。因为俄歇谱峰的强度 式中除ni外，其余各项如果测定或计算出后，根据IiWXY的测