扩散卡槽印技术方案.pptVIP

1. 制绒后未吹干、或存在酸碱残留： 扩散后烧焦，且在卡槽处留有卡槽印并污染石英舟如右上图所示，将污染的石英舟继续做18片实验片，出现大量轻微卡槽印的片子，如右下图所示。 确认：药液残留会导致卡槽印。 卡槽处留有卡槽印，并对石英舟造成污染，污染的石英舟继续做片将会产生大量轻微卡槽印污染 污染的石英舟继续做片产生大量轻微卡槽印 污染的石英舟继续做片产生大量轻微卡槽印 原因确认以及措施 1. 制绒后未吹干、或存在酸碱残留： 选取制绒3线10pcs未吹干并带有水珠的硅片，如右下图所示。 原因确认以及措施 1. 制绒后未吹干、或存在酸碱残留： 由于制绒后未吹干程度不同，扩散后有8pcs存在轻微卡槽印，非扩散面边缘存在不同程度的发暗情况，如图所示： 确认：不同程度的制绒下料未吹干会造成部分卡槽印。 措施：严格控制制绒下料和酸碱槽吹干情况，下料有未吹干的片子必须返工处理，酸碱槽发现未吹干及时通知工艺调试。 非扩散面边缘暗 原因确认以及措施 2. 石英舟较脏： 4月22日2-4管扩散后的两个石英舟均出现大量不同程度卡槽印，如右图所示： 大量轻微卡槽印 大量轻微卡槽印 原因确认以及措施 2. 石英舟较脏： 观察石英舟发现较