铜铟镓硒-cigs-薄膜太阳能电池研究.docVIP

2009届研究生博士学位论文 铜锢稼硒(CIGS )薄膜太阳能电池研究 摘要 铜锢嫁硒Cu (InGa) Se, (CIGS)薄膜太阳能电池，具有转换效率高、成本低、 稳定性好等特点，是最有发展前景的薄膜太阳能电池之一。到目前为止，基于三 步共蒸发工艺制备的CIGS薄膜太阳能电池的效率已达19.99%，是所有薄膜太阳 能电池中最高的。尽管这种制备方法有很多优点，制备成分均匀的大面积电池却 具有难以克服的困难，不能满足大规模产业化的要求。在CIGS薄膜太阳能电池 产业化进程中，克服其层间的附着力差，制备符合化学计量比具有黄铜矿结构的 多晶薄膜吸收层是必须解决的两个最重要的工艺技术。 本论文主要研究一种工艺简单、可控、适合产业化需要的技术工艺，即溅射 制备合金预制膜后硒化的制备方法。研究采用的溅射系统，是本中心自行设计研 制的三靶共溅设备，阴极大小为3英寸，衬底基座可以旋转，以保证制备薄膜的 均匀。 首先，在碱石灰玻璃衬底上制备厚度约1微米的铝电极，在溅射过程中通过 改变工作气压，使Mo电极具有类似层状结构，消除了内应力的影响。通过扫描 电镜分析，薄膜表面具有鱼鳞状结构，从而增加了Mo电极和CIGS吸收层之间的 接触面积。Mo电极和玻璃衬底之间，及其和CIGS吸收层之间的附着力得到显著 提高。然后，在沉积有M。电极的玻璃衬底上，通过共溅射的方法制备约700纳 米厚度的Cu(工nGa)预制层薄膜，靶材采用CuIn和CuGa合金靶。硒化采用低 温和高温过程依次进行的2步方法，采用固态硒源，硒化室是一个半密封的石墨 盒。通过在高温区保温30分钟，制备出了性能优异的CIGS吸收层薄膜，具有(112) 晶面择优取向，显示明显的黄铜矿单一结构。薄膜表面平整，晶粒大小均匀、排 列紧密，晶粒大小达到3到5微米。用化学水浴法，制备厚度约70纳米的US 过渡层。分别采用醋酸福和硫尿作为福源和硫源。研究了ZnS薄膜的制备工艺， 对无福电池的制备做了初步探索。最后用射频磁控溅射的方法，研究了常温下制 备透明导电材料ITO和Zn0的制备工艺，研究了溅射功率和溅射气压对薄膜性能 的影响。所制备的透明导电薄膜在可见光谱范围内，透过率到达80%到90%，方 块电阻达到15 S2/口以下。在CIGS薄膜太阳能中，作为上电极材料，具有广泛 的应用前景。 通过大量的实验，优化了背电极Mo、吸收层CIGS、过渡层CdS (ZnS)、本 征氧化锌i-Zn0和搀杂氧化锌n-Zn0(或者工TO)的制备工艺。最后，制备出了 结构为Glass/Mo/CIGS/CdS/i-Zn0/n-Zn0/A1的CIGS电池器件。对器件的性能做2009届研究生博士学位论文 铜锢稼硒(CIGS )薄膜太阳能电池研究 了测试分析，在没有减反射层的情况下，转化效率达到7.8%。该研究采用的CIGS 薄膜太阳能电池的制备工艺简单、过程容易控制、设备和材料费用低，没有采用 剧毒的气源，适合大规模产业化的要求，为以后进一步的研究开发做了技术储备。 关键词:CIGS薄膜太阳能电池，TCO，磁控溅射，·合金靶，固态硒源，硒化2009届研究生博士学位论文 铜锢稼硒(CIGS )薄膜太阳能电池研究 目录 摘要·························································。········。····················……工 Abstract...··············································································……I工I 第一章绪论········································································…… 1. 1太阳能电池的研究背景·1 1.2太阳能电池简介·2 1.3太阳能电池的种类及特性比较·6 1.4薄膜太阳能电池的优势·9 1. 5 C工GS电池的发展现状·10 1.6本论文的主要工作及目的·12 参考文献·15 第二章CIGS薄膜太阳能电池及其制备方法·19 2. 1 CIGS电池的结构·19 2. 2 C工GS电池制作方法比较·21 2.3磁控溅射物理知识·24 2.4主要制备设备简介·25 参考文献·30 第三章CIGS吸收层制备工艺研究及结果分析·32 3. 1衬底的选择及清洗·32 3. 2 Mo电极的制备及表征·32 3. 3 Cu工nSeZ的制备工艺研究·34 3. 4 Cu(工nGa) Se,的制备及表征·41 3.5本章小结·46 参考文献·47 第四章过渡层CdS和高阻Zn0的制备·51 4. 1过渡层CdS的制备·51 4. 2