声表面波传感器技术总结.ppt

【SAW加速度传感器】 原理：SAW加速度传感器采用悬臂 梁式弹性敏感结构，在由压电材料 （如压电石英晶体）制成的悬臂梁 的表面上设置SAW谐振器结构，加 载到悬臂梁自由端的敏感质量块感 受被测加速度，在敏感质量块上产 生惯性力，使谐振器区域产生表面 形变，改变SAW的波速，导致谐振 器的中心频率变化。因此，SAW加 速度传感器实质上是加速度——频率变换器，输出的频率信号经相关处理，就可以得到被测加速度值。 图中，长L、宽B、厚H的一端固支的悬臂梁加速度传感器，自由端通过直径为D的质量块加载，以感受加速度。 【SAW加速度传感器】 SAW加速度传感器的特性方程： 未加载时SAWR的谐振频率为： V0——表面波的传播速度，m/s； Λ0——表面波的波长，m； ES——表面波材料的弹性模量，Pa； ρS——表面波材料的密度， 对于均匀分布的叉指换能器，声表面波的波长与叉指换能器两相邻电极中心距之间的关系为： d0——叉指换能器两相邻电极中心距，m。 【SAW加速度传感器】 考虑SAWR基片上产生的应变，由于叉指电极是沉积在压电基底材料上的，所以两叉指中心距d也因基底材料应变二改变。这样，SAWR的应变也可写成： 声表面波器件受力作用产生应变后，叉指中心距d与应变ε的关系为： 又因为λ0=2d0，所以 同时，在压电材料发生应变时，会引起材料密度的变化，从而影响声波传播速度的变化。应变ε对传播速度v的影响可表示为： k ε——材料常数。 【SAW加速度传感器】 声表面波谐振器的谐振频率与应变ε有关，可描述为： 由应变引起的谐振频率的绝对变化为： 一般情况下，ε 值很小，所以上式中ε 可忽略，得到以下近似关系： 当SAWR的基底材料为石英晶体时，有： 【SAW加速度传感器】 借助第四章的公式，可得加速度a引起的梁上表面沿x方向的正应变为： 当SAW谐振器置于悬臂梁的（x1，x2）时，则SAW谐振器感受到的平均应变为： 将上式带入f（ε）中可得： 该式为加速度传感器的特性方程，利用它可以针对加速度传感器的检测灵敏度，来设计悬臂梁的有关结构参数和敏感质量块的结构参数。 【SAW加速度传感器】 SAW加速度传感器的动态特性分析： 对于加速度传感器，多数情况是用于动态过程的测量。由于悬臂梁的厚度对于其长度较小，因此其最低阶固有频率较低，这将限制传感器所测加速度的动态频率范围。 当不考虑悬臂梁自由端出敏感质量块的附加质量时，其悬臂梁的最低阶固有频率为： 显然，考虑敏感质量块后悬臂梁最低阶弯曲振动固有频率远比上式低，因此，此式没有使用价值。 【SAW加速度传感器】 当把悬臂梁看成是一个感受弯曲变形的弹性部件时，以其自由端的唯一Wmax作为参考点，器等效刚度为： D——敏感质量块的直径，m； 于是，该加速度传感器的整体敏感结构的最低阶弯曲振动的固有频率为： 则该式可以针对加速度传感器的最低固有频率，来设计悬臂梁的有关结构参数和敏感质量块的结构参数。 声表面波传感器 6. SAW压力传感器 【 SAW压力传感器】 这是一个具有温度补偿的差动结构的SAW压力传感器。该SAW传感器的关键部件是在石英晶体膜片上制备的压力敏感芯片，其上制备有两个完全相同的声表面波谐振器，分别置于膜片的中央和边缘。两个SAW谐振器分别连接到放大器的反馈回路中，构成输出频率的谐振器。两路输出的频率经混频、低通滤波和放大，得到一个与外加压力一一对应的差频输出。 因为敏感膜片上的两个谐振器相距很近，故认为环境温度变化对两个谐振器的影响所引起的频率偏移近似相等，经混频取差频信号就可以减小或抵消温度对输出的影响，即具有差动结构的SAW压力传感器可以实现温度补偿。 【 SAW压力传感器】 在两个振荡回路内，一旦设计的放大器的增益能补偿谐振器的插入损耗，同时又满足一定的相位条件，系统就可以起振，实现闭环工作。起阵条件可以表述为： GA——放大器增益； LS(f)——谐振器的插入损耗； ΦR——谐振器的相移，（°）； ΦA——放大器的相移，（°）。 另，SAW的谐振频率为： f=v/λ; 对于均匀叉指换能器，SAW波长λ是叉指电极中心距d的2倍，即λ=2d。所以，当外力作用于敏感膜片上时，基片受应力作用产生应变，使叉指电极的中心距发生变化，亦即波长λ发生变化。同时，材料弹性模量和密度也发生变化。其变化大小与外加压力的大小有对应的关系。 由于基片中传播的声速v和叉指电极中心距d都是压力和温度的函数，因此谐振频率也是压力p和温度T的函数，可以描述为： 【 SAW压力传感器】