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晶科技公司內部員工訓練教材 蔣文山 890105 光學薄膜 第二章 鍍膜機 鍍膜機可分三系統：真空系統、蒸鍍系統及膜 厚監控系統。 真空系統 (Vacuum System) (一)、(Vacuum Chamber) 鍍膜機之主體，製程皆於其中進行，為圓形或長方形金屬体。Leybolb APS1104 鍍膜機為前開門式圓筒形不銹鋼真空室，直徑約1075mm，1100mm，、Vacuum Pump) 機械幫浦(Mechanical Pump) 利用機械能(壓縮、碰撞)將氣体分子排出系統外。 1)、(Rotary Oil-Sealed Pump) 幫浦內部有一旋轉之偏心轉子 (Rotor)， (Vane)。(Stator) 壁上。靜子外部儲滿幫浦油，當幫浦運 轉時，幫浦油會由小油路滲入靜子內 壁，於翼片前端及鏡子壁間形成約2μ 之氣密油膜。構造如下圖： 迴轉油墊幫浦係利用偏心之轉子旋 轉，來壓縮排氣，其排氣行程如下: 迴轉油墊幫浦抽氣效率甚高，(水、酒精) 等，經幫浦之壓縮到其飽和蒸氣壓時，將 凝結成液体混於幫浦油中，再滲入壓縮槽 中時又會揮發成蒸氣。故幫浦只能將真空 系統抽到該蒸氣之飽和真空度。為克服此 缺失，一般皆加裝一套自動或手動之空氣 混抽裝置(Air Ballast Device)， 大氣壓下之新鮮空氣就從自動或手動 之空氣活門經由彈簧單向活門自動進 入壓縮槽與原有氣体混合時，此時因尚 未被壓縮，故氣体氣壓未達其飽和蒸氣 壓。當轉子繼續運轉而壓縮此混合氣体 時，因新鮮空氣進入時為一大氣壓，混 合氣体在其蒸氣尚未到達飽和蒸氣壓 時，就迅速超過一大氣壓，推開單向吊 耳活門而排出幫浦外。具有此裝置之迴 轉油墊幫浦的最終壓力可達10-4torr。 為二階(Two-Stage)迴轉油墊幫浦(如下 圖)，10-5torr。 迴轉油墊幫浦對空氣抽氣效率 高，可於大氣壓下使用，然最終真空壓 受所用幫浦油之飽和蒸氣壓所限。APS 1104鍍膜機使用D65B 二階 迴轉油墊幫浦，抽氣速率65m3/h。 2)、(Roots Pump) 路特幫浦操作原理與一般抽水之齒 輪幫浦類似，二只8字形轉子，一轉子 為馬達驅動，另只則為其連動之齒輪帶 動。轉子間或與定子間距小於0.1mm，。，。 他幫浦串聯，而於10-10-2mbar使用。其 最終壓力為所串聯幫浦限制。又因其能 承擔較大的負荷且抽氣速度高，於大型 鍍膜系統上常用為加強幫浦(Booster Pump)， 負荷下亦能抽至中真空範圍。 APS 1104鍍膜機使用WS501 路 特幫浦，抽氣速率500m3/h。 3)、(Mechanical Molecular Pump) 氣体分子碰撞到高速運轉之機件 上而獲得動能，向機件運動之方向移 動。利用此原理可將真空系統中之氣体 分子從壓力低移往壓力高處，經前段幫 浦而排出。 渦輪分子幫浦(Turbo MolecularPump) 構造頗似渦輪機(Turbine) (如下圖): 幫浦之轉子與鏡子上裝有刻斜槽之 金屬圓盤，轉子以16000-24000轉/分轉 動，除軸外無油潤滑。氣体由中央開口 處進入圓盤之刻槽內，被加速、加壓而往 高壓處移動，經前段幫浦而排出。此種幫 浦若抽氣之負荷太大時，易過熱而損毀。 適合與其他幫浦串聯，而於10-2-10-10mbar 使用。因較無油氣之污染，適較乾淨之鍍 程使用。然因構造複雜，故價格昂貴。 擴散幫浦(Diffusion Pump) 為蒸氣噴流幫浦(Vapor Stream Pump)之一種。 (Nozzle)，碰撞從真空室擴散來之