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电子散斑与结构照明 摘要： 电子散斑在实际的工业应用中，接受测量的物体表面往往具有低反射率。通过理论分析，这里采用相位改变技术将导致某一级的更小的可接受的可以忽略的部分相位误差。使用高功率激光器可以解决这个问题但这是一个昂贵的解决方案在这项工作中，使用结构照明的衍射光学元件提出了一个成本的解决方案该方法变形物体选择地区特别有用一个简单的实验验证了这一做法的操作性。由Elsevier科技有限公司2002年衍射光学试验自其出现在上世纪70年代[1,2]，电子散斑（相关）干涉已经发展成为一个受欢迎的进行实时检查物体负荷工具有几个技术（图1（a）项这干涉平面位移。在第二个（图1（b））这干涉平面位移测量不敏感在一个类似的（图1（c））两个，两侧倾斜角度的干涉这种干涉仪可以平面位移测量（图1（d））也称为散斑剪切一照亮，但使用两倾斜镜成像这干涉平面位移梯度敏感在类似的（图1（e）），源照亮，但采用棱镜代替倾斜镜成像。通过一系列棱镜的倾斜，旋转和，让这些干涉平面梯度在横向，径向，旋转，和反转。（图1（f））两来相同源物体像这种干涉仪可以测量两个的平面位移的。两振幅连贯波前其中一个是面波前，而另一种是斑点。因此这通常称为面参考电子散斑。其他，将两个散斑波前。因此他们称为散斑参考电子散斑。电子散斑已得到广泛，由于光学相移技术[3,4]，提供准确迅速的手段获得变形阶段的一系列干涉为了适用于有效的相移技术，它优化参数，并设计适当的测量程序是有用的。通常情况下，重要的是通过量化的估算分数的数字图像，通常称为像素，这可被视为接受一定的最低测量精度时是必需的如面参考[5]。在实验室环境中测试的通常是漆成白色的良好的反射率然而，在实际现场应用，它往往是不可能的这样做的。有时，一个表面反射率可以使电子探测器只收集微弱照明反散斑光场（通常由一个扩大的激光束）。 2.被测量部分面参考形成斑干涉图样和面。（1） 式中：和分别是镜面反射和散斑场的光波的复振幅，为初始相位，为由形变引起的相位改变量，为相移技术提供的受控受控相移产生一系列决定的强度假设电子探测器响应线性动态范围内，下列通常要求总强度应始终低于探测器的一级饱和度调制深度相移大于最低强度接受测量部分 （2） 式中：，，，是的平均统计量。归参数为参照对象的强度比，归一饱和强度比，和有的动态范围，很显然增加和D将接受测量部分增加 3.噪声的考虑 如果电子散斑每个强度测量的是一个探测器噪声的有效值比相位误差[6]给出 （3） 如果一个最大相位误差可的最低强度是有益的关 （4） 在电子散斑中，提供的，光干涉效应使用电子成像器（通常是CCD相机）和数字化的硬件接口与一台计算机在这一过程中，各种信号与噪声污染。噪音的主要来源包括并转换为数所增加的噪声信号每个像素被称为在读出噪声暗计数即使在没有光线由于这样的背景下增加了光子，而且因为所有光子测量具有内在的不确定性，当我们从图减去一个不确定的值删这些不必要的光子产生信号，我们从原来的不确定性值减去一个不确定的值加工噪声基本图像处理如减去黑暗的框和涉及结合不确定其他不确定与平均强度之间的关系可用【7】近似表示 （5） 式中，K是一个与CCD电荷转移相关的常数。代入式（4），可得如下关系 （6） 利用D代替重写得 （7） 在平面参考电子散斑光路中，它强度始终可调整范围，从而使和R最佳因此，参数D决定测量发挥了关键作用使用小错差将导致小D值；反，产生小测量利用水平较低照明将导致较低的强度再次，这结果较小D以及一个较小的测量某一特定级别的相位误差衍射光学元件的结构照明衍射光学元件传统的光学元件使光线弯曲衍射光学，可以作为光栅镜片非球面或任何其他类型的光学元件重量轻成本低主要特征他们提供传统的光学元件不可能独特光学特性他们可以各种各样的材料制造，如铝硅二氧化硅和塑料不同的高度和宽度的它们周期性可以创建不同的光束输出特性可产生光束模式例子上一节说，低照明水平将导致一个较小的测量参考在许多情况下，只需要来自的具体域的必要变形阶段的信息具体例子包括研究裂缝缺口焊缝孔洞以及螺栓和铆钉接头结构照明改善部分测量，而无需使用一个更强大，而且往往更昂贵的激光电子散斑结构照明对称物体的分析最方便。在实验中，一个圆板两侧完全钳制载在实验第一部分中然后中性密度滤镜放置在镜的前端，模拟低光照条件很显然，这条纹能见度已经非常低在实验第二部分中，线发生器通过圆板的中心中性密度滤光镜保持 6.