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激光加工利用高功率密度的激光束照射工件.doc

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激光加工利用高功率密度的激光束照射工件

激光加工利用高功率密度的激光束照射工件,使材料熔化气化而进行穿孔、切割和焊接等的特种加工。早期的激光加工由于功率较小,大多用于打小孔和微型焊接。到20世纪70年代,随着大功率二氧化碳激光器、 气体激光器加工原理 高重复频率钇铝石榴石激光器的出现,以及对激光加工机理和工艺的深入研究,激光加工技术有了很大进展,使用范围随之扩大。数千瓦的激光加工机已用于各种材料的高速切割、深熔焊接和材料热处理等方面。各种专用的激光加工设备竞相出现,并与光电跟踪、计算机数字控制、工业机器人等技术相结合,大大提高了激光加工机的自动化水平和使用功能。 固体激光器加工原理 从激光器输出的高强度激光经过透镜聚焦到工件上,其焦点处的功率密度高达10 ~10 瓦/厘米 ,温度高达1万摄氏度以上,任何材料都会瞬时熔化、气化。激光加工就是利用这种光能的热效应对材料进行焊接、打孔和切割等加工的。通常用于加工的激光器主要是固体激光器和气体激光器 采用脉冲激光器可进行打孔,脉冲宽度为0.1~1毫秒,特别适于打微孔和异形孔,孔径约为0.005~1毫米。激光打孔已广泛用于钟表和仪表的宝石轴承、金刚石拉丝模、化纤喷丝头等工件的加工。 在造船、汽车制造等工业中,常使用百瓦至万瓦级的连续CO2激光器对大工件进行切割,既能保证精确的空间曲线形状,又有较高的加工效率。对小工件的切割常用中、小功率固体激光器或CO2激光器。在微电子学中,常用激光切划硅片或切窄缝,速度快、热影响区小。用激光可对流水线上的工件刻字或打标记,并不影响流水线的速度,刻划出的字符可永久保持。 激光微调  采用中、小功率激光器除去电子元器件上的部分材料,以达到改变电参数(如电阻值、电容量和谐振频率等)的目的。激光微调精度高、速度快,适于大规模生产。利用类似原理可以修复有缺陷的集成电路的掩模,修补集成电路存储器以提高成品率,还可以对陀螺进行精确的动平衡调节。 激光焊接强度高、热变形小、密封性好,可以焊接尺寸和性质悬殊,以及熔点很高 如陶瓷 和易氧化的材料。激光焊接的心脏起搏器,其密封性好、寿命长,而且体积小。激光热处理  用激光照射材料,选择适当的波长和控制照射时间、功率密度,可使材料表面熔化和再结晶,达到淬火或退火的目的。激光热处理的优点是可以控制热处理的深度,可以选择和控制热处理部位,工件变形小,可处理形状复杂的零件和部件,可对盲孔和深孔的内壁进行处理。例如,气缸活塞经激光热处理后可延长寿命;用激光热处理可恢复离子轰击所引起损伤的硅材料。 微细加工工艺 (l)微细机械加工工艺 凸形(外)表面的微细切削大多采用单晶金刚石车刀或铣刀。刀尖半径约为100μm。单晶金刚石立铣刀的刀头形状,当刀具回转时,金刚石刀片形成一个45°圆锥的切削面。凹形(内)表面的微细切削时,最小的可加工尺寸受刀具尺寸的限制,如钻孔用麻花钻可加工小至50μm的孔,更小的孔则无麻花钻商品,可采用扁钻。 微细加工中俯—个关键问题是刀具安装后的姿态及其与主轴轴线的同轴度是否与坐标系一致,否则很难保证微小的切除量。为此可在同一台机床上制作刀具后进行加工,使刀具的制作和微细加工采用同一工作条件,避免装夹的误差。如果在机床上采用线放电磨削制作铣刀,可以用它铣出50μm宽的槽。 (2)微细电加工工艺 微型轴和异形截面杆的加工可采用线放电磨削法(WEDG)加工。它的独特的放电回路使放能仅为一般电火花加工的1/100。如需获得更为光滑的表面,则可以在WEDG加工后,再采用线电化磨削法(WECG),它是用去离子水在低电流下去除极薄的表面层。微细电火花加工(MEDM)所用的机床如日本松下电气产业公司的MG-ED71,它的定位控制的分辩率为0.1μm,最小加工孔径达5μm,表面粗糙度达0.1μm。加工节径300μm、厚100μm的9齿不锈钢齿轮时,先用φ24μm的电极连续打孔加工出粗轮廓,再用φ31mm电极按齿形曲线扫描出轮廓,精度达±3μm。也可用它加工微型阶梯轴,最小直径为30μm,加工的键槽截面为10μm×10μm。 加工微小零件的电极应在同一台电加工机床上制作,否则由于电极的连接和安装误差很难加工出小于直径100μm微型孔。如在微细电火花机床上加工电极或超声加工工具,就可加工出5~10μm微型孔。微细电加工与微细机械加工相比虽材料切除率较低,但加工尺寸能更细小,孔的长径比更大可达5~10,尤其对于微细的复杂凹形内腔加工更有其优越性。 火花线切割是一种应用机械能以外的能量形式特种加工方式。它可加工任何导电的金属材料,如硬质合金、耐热钢、不锈钢、淬火钢、钛合金等。但主要适用于切割各种冲模、塑料模、粉末冶金模等二维及三维直纹面组成的模具及零件,可直接切割各种样板、磁钢、硅钢片冲片,也常用于钼、钨、半导体材料或贵重金属的切割。 高速走丝线切割机床适用于加工各种

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