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在距离测量时空气折射率的实时补偿Real-time compensation of the refractive index of air in distance measurement报告人：张骏 学号：20155208004研究背景现状实验原理实验结果总结背景实现纳米尺度的光学和电子器件的大规模商品生产（如集成电路和平面显示器）需要配备具备几米范围内进行亚微米定位能力的精密机械。如此长范围控制的精密运动的最好尝试是激光干涉仪。然而，当激光干涉仪在空气中被用来测量数米长的距离时，可达到的测量不确定最终由周围空气的折射率的不稳定性限制。受温度，压力，湿度和CO2浓度这些环境参数的影响，空气折射率本质上不是静态的，因为它与时间以及位置有关。因此，严格的环境控制同空气折射率的准确识别是必要，以达到在几米测量中的不确定度低于百万分之一。空气折射率的补偿是激光干涉测距中的重要环节。现状目前减小环境因素对长距离测量的影响的方法主要有：①空气折射率的实时测量与补偿 a.间接测量 b.直接测量②共光路干涉设计间接测量：以计算公式为主，在测量空气的各项参数后根据公式求得相应的空气折射率。1966年Edlen在大量实验结果的基础上建立了空气折射率的经验公式，也就是著名的Edlen公式（空气的折射率和空气的大气压力，温度，湿度，二氧化碳含量等有关）。直接测量：由仪器直接测出，具有实时性，从而也更具有