力诺扩散机操作说明.docVIP

诺博倒片机操作说明 一 基本界面描述 操作面板按钮介绍 手动/自动切换键 机器运行启动按钮 机器运行停止按钮 报警复位按钮 暂停机器 紧急停止按钮 Power on系统上电按钮 Power off 系统断电按钮 manual mode（手动模式） 房子图标：返回到上一个界面 Axis home：所有轴初始化复位(共6的轴) ARM:控制吸盘Y方向的运动（上下运动） Right Craw：驱动右边吸盘X方向的运动（左右运动） Left Craw： 驱动左边吸盘X方向的运动（左右运动） Rectify：纠偏，控制右吸盘Z方向的运动（前后运动） Receive：接受硅片 Transportation：传输石英舟 Right aspirated：右吸盘吸气（选择可开启/关闭） Left aspirated： 左吸盘吸气（选择可开启/关闭） Merge：合片（上料） MergeSplit:合片分片（同时上下料） Split：分片（下料） Clear total number：清除硅片数量 注：merge（合片）、split（分片）单舟各计数400pcs，MergeSplit（合片分片）单舟计数800pcs。三种模式计数累加。 Apply：应用，使每个伺服器与控制器通信 Communication success：通信成功 Communication success：通信失败 Need judge boat：选择是否开启判断石英舟正反的程序 注：（1）每次断电后必须先按“apply”键通信成功后才能初始化所有轴，设备才能运行。 （2）manual mode（手动模式）下必须先按“start”键启后后才能手动操作相应指令。 自动模式（auto mode） 注：自动模式界面为显示界面，不可操作。 total boat number：总体产量 当前运行的程序状态（merger or split）分片或合片 显示当前石英舟的状态 显示当前模式的状态 状态机（逻辑运行流程） Working Position of Diffusion Boat 石英舟工作位置 1 Cylinder( positioning wafers) 气缸(定位硅片) 2 Horizontal positioning groove 左右横向定位槽 3 Sensor 传感器 4 Longitudinal positioning groove 双纵向定位槽 5 Cylinder(positioning diffusion boat) 气缸(定位石英舟 二 操作步骤 开机并初始化： 1打开空气供应阀并检查气压是否在预定值内(0.6-0.8Mbar); 2打开主电源； 3打开绿色启动按钮（power on），触摸屏系统会自动启动； 4选择操作者类型——作业员按触摸屏任意位置直接进入。技术人员输入用户名和密码进入； 5将触摸屏上的钥匙打到手动模式（manual mode）→→按“clear fault”键清除报警； 6在手动模式下（manual mode）→→绿色”start”键→→按“apply”键通信连接,显示绿色“communication success”通信成功； 7初始化：选择触摸屏手动模式（manual mode）→→将触摸屏上的钥匙打到中间状态→→按绿色“start”键→→按触摸屏“axis home”对所有轴初始化，直至显示绿色状态； 8在手动模式（manual mode）下选择相应的生产程序（merge合片，mergesplit分合片，split分片） 9放置花篮和石英舟 10将触摸屏上的钥匙打到自动模式（auto moder）→→按“boat value”键锁住石英舟→→“reset”键→→“start”键显示绿色→→按“start”键设备开始运行。 关机： 按控制面板红色“stop”键→→将触摸屏上的钥匙打到手动模式（manual mode）→→按红色“power off”设备断电→→关闭主电源 一键退舟： 选择触摸屏上的手动模式（manual mode）→→将触摸屏上的钥匙打到中间状态→→按“start”键启动该模式→→选择“exit boat”将石英舟安全退出 三 故障处理 如遇石英舟卡片或需要暂时性的停止设备。 按蓝色“hold“键暂停设备处理一般问题后按触摸屏上”unhold“键或绿色“start”键继续生产。 如遇石英舟放反或石英舟内发生大量碎片等需紧急处理的情况下。 在手动模式下将触摸屏上的钥匙打到中间状态，按“stater”键启动该模式，选择“exit boat”将石英舟安全退出； 如吸盘上有硅片需两个人配合操作