透射电镜.docx

光学显微镜、TEM、SEM的原理与应用摘要：本文叙述了光学显微镜、透射电子显微镜和扫描电子显微镜的原理和应用。指明了三种显微镜之间的不同特点和应用方向，为之后学习研究的实验提供了理论基础。关键词：光学显微镜透射电子显微镜扫描电子显微镜1 序言早在公元前一世纪，人们就已发现通过球形透明物体去观察微小物体时，可以使其放大成像。后来逐渐对球形玻璃表面能使物体放大成像的规律有了认识。1590年，荷兰和意大利的眼镜制造者已经造出类似显微镜的放大仪器。1610年前后，意大利的伽利略和德国的开普勒在研究望远镜的同时，改变物镜和目镜之间的距离，得出合理的显微镜光路结构，当时的光学工匠纷纷从事显微镜的制造、推广和改进。17世纪中叶，英国的罗伯特·胡克和荷兰的列文虎克，都对显微镜的发展作出了卓越的贡献。1665年前后，胡克在显微镜中加入粗动和微动调焦机构、照明系统和承载标本片的工作台。这些部件经过不断改进，成为现代显微镜的基本组成部分。1673～1677年期间，列文·虎克制成单组元放大镜式的高倍显微镜，其中九台保存至今。胡克和列文·虎克利用自制的显微镜，在动、植物机体微观结构的研究方面取得了杰出的成就。19世纪，高质量消色差浸液物镜的出现，使显微镜观察微细结构的能力大为提高。1827年阿米奇第一个采用了浸液物镜。19世纪70年代，德国人阿贝奠定了显微镜成像的古典理论基础。这些都促进了显微镜制造和显微观察技术的迅速发展，并为19世纪后半叶包括科赫、巴斯德等在内的生物学家和医学家发现细菌和微生物提供了有力的工具。在显微镜本身结构发展的同时，显微观察技术也在不断创新：1850年出现了偏光显微术；1893年出现了干涉显微术；1935年荷兰物理学家泽尔尼克创造了相衬显微术，他为此在1953年获得了诺贝尔物理学奖。古典的光学显微镜只是光学元件和精密机械元件的组合，它以人眼作为接收器来观察放大的像。后来在显微镜中加入了摄影装置，以感光胶片作为可以记录和存储的接收器。现代又普遍采用光电元件、电视摄象管和电荷耦合器等作为显微镜的接收器，配以微型电子计算机后构成完整的图象信息采集和处理系统。随着科学技术的发展，对金相显微分析要求越来越高，有其对其分辨率也是如此。1931年德国科学家利用电子透镜成功发明透射电子显微镜。电子显微镜的放大倍数提高到上万倍。透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，TEM）是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨、高放大倍数的电子光学仪器。它可以从原子尺度分析物质的结构和化学成分，从而揭示物质变化的内在显微结构和各种宏观关系，成为凝聚态物理学，化学、生物学等学科的基本研究观察工具。1956年Menter得到酞氰铂和酞化氰铜的点阵平面条纹像，其中分辨率为1纳米；1967年Allpress和Sanders得到分辨率为0.7纳米的氧化物的像；1971年Iijima高分辨观察到氧化铌中金属原子的分布，其中分辨率大约为0.3纳米，这标志高分辨像与晶体结构对应关系的产生。超高压电镜的发展，可使点分辨率达到1?水平。20世纪90年代后期发展起来的球差矫正技术进一步提高了电镜的分辨率，目前可达到0.5?。这表明逐个原子的分析已趋常规化。 在1931年德国科学家利用电子透镜成功发明了透射电子显微镜之后，科学家对扫描电子显微镜也有大量的研究。1938第一部扫描电子显微镜由Von Ardenne发展成功。1938～39穿透式电子显微镜正式上市（西门子公司，50KV~100KV，解像力20~30Aring）。1959年第一台100KV电子显微镜，1975年第一台扫描电子显微镜DX3在中国科学院科学仪器厂（现北京中科科仪技术发展有限责任公司）研发成功；1980年中科科仪引进美国技术，开发KYKY1000扫描电镜。光学显微镜 透射电子显微镜 扫描电子显微镜2 工作原理2.1 光学显微镜光学显微镜是利用光学原理，把人眼所不能分辨的微小物体放大成像，以供人们提取微细结构信息的光学仪器。光学显微镜一般由载物台、聚光照明系统、物镜，目镜和调焦机构组成。显微镜是利用凸透镜的放大成像原理，将人眼不能分辨的微小物体放大到人眼能分辨的尺寸，其主要是增大近处微小物体对眼睛的张角（视角大的物体在视网膜上成像大），用角放大率M表示它们的放大本领。因同一件物体对眼睛的张角与物体离眼睛的距离有关，所以一般规定像离眼睛距离为25厘米（明视距离）处的放大率为仪器的放大率。显微镜观察物体时通常视角甚小，因此视角之比可用其正切之比代替。图1 显微镜放大原理光路图显微镜由两个会聚透镜组成，光路图如图1所示。物体AB经物镜成放大倒立的实像A1B1，A1B1位于目镜的物方焦距的内侧，经目镜后成放大的虚像A2B2于明视