氢化串联方式连接.docVIP

目录 摘要 2 1 引言 2 2 传统单相并联方式介绍 3 2.1 传统单相并联方式连接方法介绍 3 2．2 传统单相并联方式存在的问题 4 3 单相串联方式介绍 5 3．1 单相串联方式连接方法介绍 5 3．2 单相串联方式的优越性 6 3．3 单相串联方式存在的问题 6 3．4 单相串联方式问题的解决办法 6 4 结束语 7 一种新型的氢化电气连接方案 摘要 目前多晶硅行业氢化电气系统的多采用单相六对加热器三三并联，通过适当的电流使加热器达到反应功率，以保持反应温度（1250℃）。本文首先介绍了单相六对加热器三三并联实际生产中的优缺点，进而与新型的单相串联方式对比。说明新型的单相串联方式的优越性，并对单相串联方式存在问题提出改善方法。 关键词：加热器、电极、夹具、铜排 1 引言 目前国内主流多晶硅生产技术多采用改良西门子法，该法通过在高温条件下三氯氢硅和氢气发生化学气相沉积反应得到高纯多晶硅，同时产生大量的副产物四氯化硅需要循环利用。在热氢化工序中，将四氯化硅和氢气送入氢化炉，并给氢化炉内加热器通入电流，当炉内温度达到1250℃时，四氯化硅与氢气反应生成多晶硅生产原料三氯氢硅。氢化加热器的功率直接影响反应温度，从而影响氢化的转化率，而加热器材质的电阻率直接影响氢化加热器的功率。现有技术多采用单相六对加热器三三并联来达到反应功率，势必增加每对加热器的电阻，从而增加了加热器的成本。 本文从氢化生产实践出发，提出采用单相串联的必要性以及具体实施方案并就其存在的问题提出了相应的解决办法。 2 传统单相并联方式介绍 2.1 传统单相并联方式连接方法介绍 在传统单相并联方式的氢化电气连接方案：电极通过绝缘体穿过氢化炉基盘，基盘下部电极通过夹具连接，同环两电极间采用同环双头夹具按图连接，环间两电极采用环间双头夹具按图连接，单电极采用单头夹具按图连接到供电系统（调功柜）的L1、L2、L3和N1、N2、N3铜排，再在基盘下未用双头夹具连接两电极头间安装成对加热器，加热器垂直树立安装在氢化炉内的电极上。如图二所示将供电系统的L1、L2、L3和N1、N2、N3分成两组分别供给每三对加热器，形成单相三三并联。如图一的单相并联电气连接原理图所示：每三对加热器串联，再并联供电。 图一 传统单相并联方式电气连接原理图 图二 传统单相并联方式电气连接示意图 图中标记：1-基盘 2-单对加热器 3-同环双头夹具 4-电极 5-环间双头夹具 6-尾气管道 7-单头夹具 2．2 传统单相并联方式存在的问题 传统单相并联方式能够满足氢化转化反应的要求，但是以下缺点： 1、结构相对复杂，基盘下的铜牌连接较多，易出现连接错误。 2、由于采用三三并联，为了达到反应功率势必增加每对加热器的电阻，对加热器材质电阻率要求高，从而增加了加热器的采购成本。 3、加热器电阻降低时受供电系统电流电压的限制，难以使其产生的最大功率达到要求，从而影响氢化转化率，难以维持氢化长期稳定的运行。 3 单相串联方式介绍 3．1 单相串联方式连接方法介绍 单相串联方式的氢化电气连接方案：电极通过绝缘体穿过氢化炉基盘，基盘下部电极通过夹具连接，同环两电极间采用同环双头夹具按图连接，环间两电极采用环间双头夹具按图连接，单电极采用单头夹具按图连接到供电系统（调功柜）的L1、L2、L3和N1、N2、N3铜排，再在基盘下未用双头夹具连接两电极头间安装成对加热器，加热器垂直树立安装在氢化炉内的电极上。如图四所示将供电系统的L1、L2、L3和N1、N2、N3分别供给每相六对加热器，形成六对加热器串联。如图三的单相串联电气连接原理图所示：六对加热器串联供电。 图三 单相串联方式电气连接原理图 图四 单相串联方式电气连接示意图 图中标记：1-基盘 2-单对加热器 3-同环双头夹具 4-电极 5-环间双头夹具 6-尾气管道 7-单头夹具 3．2 单相串联方式的优越性 由上面的原理和单相串联方式连接方法可以看出单相串联方式相对于传统单相并联方式具有相当明显的优势，具体如下： 结构简单，基盘下的连接铜牌相对少了一半，避免出现连接错误。 易于实现，不改变加热器的连接方式，只需增加增加两个同环双头夹具和一个环间夹具。 能够满足热氢化反应功率，还使每对加热器的电阻大大降低，即加热器材质电阻率要求降低，从而降低加热器的采购成本。通过以下计算可以求得其电阻的降低值： 氢化电源能够提供的最大电压是290V，最大电流2400A,氢化正常运行功率400KW，如图三，可知： 算式1：U≤290V 算式2：I≤2400A 算式3：P=I2R=400KW 算式4:I=U/R 算式5：R