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RC EGUN-3 电子束蒸发源
RC – Multiple Crucible Rotary e-Gun?
RC系列多坩埚旋转电子枪Features 产品特性
? True XY sweep with full crucible coverage
能够完全覆盖坩埚的真正的XY扫描
? Sweep coils included with source
电子枪已含扫描线圈
? Enhanced beam culmination
增强的电子束聚焦
? Plug-in emitter module
插入式电子束发射组件
? Enhanced high-stability cooling
增强的高稳定性冷却系统
? Cross-contamination shielding ? Interchangeable crucibles
可更换的坩埚衬交叉污染屏蔽
? High Vacuum compatible? Rugged design
兼容高真空坚固耐用的设计
Specifications 技术参数Operating pressure
工作压力 Below 5 x 10-5 Torr is desirable for best operation
最佳工作压力低于5 x 10-5 Torr Beam voltage
束电压 4,000 VDC Beam current
束电流 0-750 mA continuously variable
0-750毫安连续可调 Maximum power
最大功率 3 kW Cooling water
水冷系统流量 1.5 gpm Pressure differential
冷却水压差 25 psi minimum
最小25psi Maximum bakeout temperature
最高烘烤温度 120°C Crucible volume
坩埚容量 2.24 cc x 4, 6 or 8 crucibles
2.24毫升 x 4或6或8（其中4、6和8指的是坩埚的个数） RC – Multiple Crucible Linear e-Gun?
RC系列多坩埚线形电子枪
Features
? True XY sweep with full crucible coverage
? Sweep coils included with source
? Enhanced beam culmination
? Plug-in emitter module
? Enhanced high-stability cooling
? Cross-contamination shielding
? Rugged design
? Optional auto-indexer
产品特性
? 能够完全覆盖坩埚的真正的XY扫描
? 电子枪已含扫描线圈
? 增强的电子束聚焦
? 插入式电子束发射组件
? 增强的高稳定性冷却系统
? 交叉污染屏蔽
? 坚固耐用的设计
? 可选自动坩埚导位
RC Series 3-Position Linear e-Gun shown with optional Auto-indexer
Specifications/技术参数Operating pressure/工作压强 Below 5 x 10-5 Torr is desirable for best operation/
最佳工作压力低于5 x 10-5 Torr Beam voltage/束电压 4,000 VDC Beam current/束电流 0-750 mA continuously variable/0-750毫安连续可调 Maximum power/最大功率 3 kW Cooling water/水冷系统流量 1.5 gpm Pressure differential/冷却水压差 25 psi minimum/最小25psi Maximum bakeout temperature/
最高烘烤温度 230°C Crucible volume/坩埚容量 2.24 cc x 3, 4 or 5 crucibles/
2.24毫升 x 3, 2.24毫升 x 4， 或者2.24毫升 x 5（其中3、4和5指的是坩埚的个数） RC –Single Crucible e-Gun?
RC系列单坩埚电子枪
Features/产品特性
? True XY sweep with full crucible coverage 完全覆盖坩埚的真正的XY扫描
? Sweep coils included with source
电子枪已含扫描线圈
? Enhanced beam culmination 增强的电子束聚焦
? P
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