沉积层分布均匀性与针孔问题题库.docx

沉积层分布均匀性问题 电沉积分布均匀性主要包括沉积层厚度、合金成分或复合物含量、微观组织结构（晶粒大小）的均匀性以及由此引起的材料性能的均匀性。 影响沉积层厚度均匀分布的因素 1.1电流效率的变化对沉积层分布的影响 在电沉积过程中,在阴极表面不同部位上沉积出金属的多少,不仅与通过该部位的电流大小有关,同时还受到电流效率的影响。在一定的电沉积过程中，当通电时间一定时，在阴极上某一部位所得到的沉积层厚度（即金属的沉积量）与该部位通过的电流和电流效率成正比，如下式所示： δ=I 式中，δ为沉积层厚度；I为电流密度；ηk为该电流密度下的电流效率；k 虽然能影响电流效率的因素很多，如电解液的温度、组成、浓度、pH值等，但不一定会影响到沉积层在阴极表面分布的均匀性。只有当这种影响使得不同电流密度的电流效率产生不同效果时，才会起作用。 1.2基体金属对沉积层分布的影响 基体金属的本性及其表面状态对沉积层的分布都有影响，但只发生在沉积的初期阶段。 1.3阴极表面上电流分布状况对沉积层分布的影响 镀层厚度的均匀性取决于电解液本身的性能和电镀规范。由法拉第定律知，镀层厚度的均匀性主要反映在阴极表面上电流分布的均匀性。为了评定电流在阴极表面的分布情况，采用“分散能力”表征。分散能力是指电流和金属在阴极（阳极）表面向着更均匀的方面重新分布的能力，是金属在阴极表面上分布均匀程度的量度。 影响镀液中电流分布的因素主要有以下几个方面。 1.3.1几何因素（初次电流分布） 几何因素包括电解槽的形状，电极的形状、尺寸及其相对位置，阳极和阴极浸入电解液中的深度等。实验证明知，只有当阳极与阴极平行，电极完全切过电解液时，电力线才互相平行并垂直于电极表面，此时电流在阴极表面分布均匀【1】。当电极平行但不完全切过电解液时，即电极悬在电解液中，除有平行的电力线时，电力线还要通过多余的电解液向电极边缘集中，即在阴极的边缘、棱角和尖端处，电流密度较大，这种现象为边缘效应或尖端效应。 阳极尺寸、阳极与阴极极间距对沉积均匀性影响主要表现为【5】：（1）阳极尺寸小于或等于阴极尺寸的一定范围内，不使用辅助阴极时阳极尺寸小有助于得到好的沉积均匀性，使用辅助阴极时阳极尺寸大沉积均匀性好；（2）极间距较大或较小都使得沉积均匀性变差，即存在对应于沉积均匀性好的最佳值，当阳极与阴极尺寸相同并采用辅助阴极时，若极间距较大，则中央的沉积速度高于边缘，反之则相反，沉积均匀性都不好；（3）最佳极间距及对应的沉积均匀性与阳极的尺寸有关，阳极尺寸增大，最佳极间距减小，沉积均匀性增加，如果阳极的尺寸比阴极小很多，则极间距较小时电流从阳极流向阴极局部区域，只有当极间距很大时整个阴极上才有较均匀的电流。 图1 水平方向的阳极布置 两平板电极间的电沉积的研究表明【6】：极间距一定时，阳极的尺寸稍小于阴极时沉积分布均匀性好于两电极尺寸相同时的结果。 水平方向阳极排列的影响，如图1所示。阴阳极的相对长度与上下相对位置对电力线分布的影响见图2所示。 图2阴阳极垂直方向长度与位置 1.3.2电化学因素（二次电流分布） 电化学因素的影响包括极化度的大小与电解液的电阻率。 极化度对电流分布的影响 极化度也是影响沉积层厚度的主要因素【37】，增大极化度有利于电流分布的均匀；极化率越大，电解液的电流分布越均匀，分散能力越好。无添加时，极化现象随电流密度的增大而增大，极化度随电流密度的增大而降低。当阴极极化的绝对值远小于电解液的欧姆电压降时，电解液的电压降对电流分布起主导作用，电流的分布就不均匀，因此，一般选择电流密度的上限，从而增大阴极极化的绝对值，改善分散能力。 电解液的电阻率 电解液的电阻率减小，远、近阴极与阳极间电解液的电压降低，电流分布趋于均匀，分散能力得以增加。因此，为改善电流和金属在阴极上分布的均匀性，应提高电解液的分散能力，具体的方法有：选择适当的络合剂与添加剂，提高阴极极化度；添加碱金属盐类或其他强电解质，提高其导电率；尽可能加大阴极与阳极之间的距离，且与阳极平行、均匀排列。 电沉积电压对阴极电场分布的影响 陈劲松等【32】研究发现：在不同的电压下，阴极的电流密度有着比较相似的分布规律，如图3所示。 图3 电压对阴极电流密度的影响 改善电沉积分布均匀性的主要措施 电沉积时，阴极的不同部位到阳极的距离不可能完全相同，阴极电流分布有如下的关系【7】： J 式中：J近、J远为阴极上离阳极最近的点和最远的点所对应的电流密度； ?l为阴极上离阳极最远的点距离与最近的点距离之差； 1/ρ为电解液的电导率（ρ为电解液的电阻率）； (??)/?J为阴极极化率（即极化曲线的斜率）。 由此知，实际电沉积时阴极不同部位的沉积电流密度不同，整个阴极上的电流密度分布是不均匀的。 显然，要改善沉积分布的均匀性