光电子能谱实验-教学精简资料.ppt

实验目的 1．了解和掌握XPS的定性、半定量分析方法原理以及在未知物定性鉴定上的应用； 2．熟悉和了解X射线光电子能谱仪的使用和实验条件的选择； 3．了解XPS的元素化学价态测定的方法。 实验22 XPS对固体材料表面的定性和半定量及化学价态分析 XPS光电子能谱的基本原理 基本原理就是光电效应 能量关系可表示： 仪器的功函 （3－4eV） 电子结合能 电子动能 hγ＝Ek＋Eb＋φs Eb＝hγ－Ek－φs 特定原子轨道上的结合能 由于各种原子轨道中电子的结合能，对特定的元素具有特定的值，因此通过测定电子的结合能可以定性分析除H和He（因为它们没有内层能级，光电离截面小）之外的全部元素。 Eb＝hγ－Ek－φs XPS表面分析的优点和特点 （1）固体样品用量少，不需要进行样品前处理，从而 避免引入或者丢失元素造成的错误分析 （2）表面灵敏度高，采样深度一般不超过10nm （3）分析速度快，可多元素同时测定 （4）可以给出原子序数3-92的元素信息，获得的元素 成分分析 （5）可以给出元素化学态信息，进而分析出元素的化 学态或官能团 （6）样品不受导体、半导体、绝缘体等的限制 （7）是非破坏性分析方法。结合离子溅射，可以做 深度剖析 取样深度 金属0.5~2nm 氧化物1.5~4nm 有机和高分子4~10nm 表面无损分析技术 各类材料的采样深度： ?各种复