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用白光干涉测薄膜折射率 鲁耀 0808406003 物理学（师范） 摘要 本实验主要采用迈克尔逊干涉仪观察白光等厚彩色干涉条纹方法，同时用螺旋测微计测定薄膜厚度，从而利用公式确定薄膜折射率, 该方法的优点是测量精度高, 原理简单。 关键词 迈克尔逊干涉仪 薄膜折射率 白光干涉 引言 薄膜折射率的测量是薄膜科学的重要分支之一。本实验采用白光干涉法对该量进行测量。该方法的理论依据是两束白光当其光程差为零、或近似为零时, 可观察到彩色干涉条纹。我采用该方法测量了几组数据, 并通过计算得到了薄膜折射率, 效果较为理想。 实验原理 本实验采用的主要仪器是迈克尔逊干涉仪，其结构如图所示，主要由底座，导轨拖板部分，定镜部分，读数系统和传动部分组成。 1.底座 底座由生铁铸成，较重，确保仪器的稳定性。底座由三个调平螺丝（9）支撑，调平后，可以拧紧锁紧圈（10）以保持座架稳定。 2．导轨 导轨由两根平行的长约280mm的框架（7）和精密丝杆（8）组成，被固定在底座上，精密丝杆穿过框架正中，丝杆螺距为1mm。 3．拖板部分 拖板（11）是一块平板，反面做成与导轨吻合的凹槽，装在导轨上，下方是精密螺母（6），丝杆穿过螺母，当丝杆旋转时，拖板能前后移动，带动固定在其上的移动镜（11）在导轨面上滑动，实现粗动。动镜是一块很精密的平面镜，表面镀有金属膜，具有较高的反射率，垂直地固定在拖板上，它的法线严格地与丝杆平行。倾角可分别用镜背后面的三颗滚花螺丝（13）来调节，各螺丝的调节范围是有限度的。如果螺丝向后顶得过松，在移动时可能因震动而使镜面有倾角变化，如果螺丝向前顶得太紧，致使条纹不规则，严重时，有可能使螺丝丝口打滑或平面镜破损。 4.定镜部分 定镜（14）与动镜是相同的一块平面镜，固定在导轨框架右侧的支架上。通过调节其上的水平拉簧螺钉（15）使其在水平方向转过一微小的角度，能够使干涉条纹在水平方向微动；通过调节垂直拉簧螺钉（16）使其在垂直方向转过一微小的角度，能够使干涉条纹上下微动；与三颗螺丝相比，拉簧改变镜面的方位小得多。定镜部分还包括分光板和补偿板。 5.读数系统和传动部分 三级读数系统动镜的移动距离毫米数可在机体侧面的毫米刻尺（5）上直接读得；粗调手轮（2）旋转一周，拖板移动1mm,即动镜移动1mm，同时，读数窗口（3）内的鼓轮也转动一周，鼓轮的一圈被等分为100格，每格为10-2mm，读数由窗口上的基准线指示；微调手轮（1）每转过一周，拖板移动0.01mm，可从读数窗口中看到读数鼓轮移动一格，而微调鼓轮的周线被等分为100格，则每格表示为10-4mm。最后读数应为上述三者之和，加上估读一位，可读到10-5mm。 迈克尔逊干涉仪作为测量波长的最常见实验仪器，使用氦氖激光器观察非定域干涉条纹或使用钠光源观察定域干涉条纹。其精度可达几十纳米。它是利用分振幅法产生双光束以实现干涉将来自一个光源的两个光束完全分并，各自经过不同的光程，然后再经过合并，可显出干涉条纹。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，可能是光路中某段介质的折射率n发生了变化，或是薄膜的厚度e发生了变化所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率M1与M2’大至重合时，视场中会出现直线干涉条纹，我们称之为等厚干涉条纹，此时换上白光光源，即可见到彩色直条纹，其中中央为一黑（暗）条纹，两旁对称分布的彩色条纹，稍远处即看不到任何条纹。所以找到等光程位置，是观察到白光干涉条纹的必要条件。 将待测的透明塑料薄膜放在如图1所示的平面镜M2前，通过移动平面镜M1，观察产生等厚干涉的位置, 即彩色条纹产生M1时平面镜的位置。下面我们具体分析图1所示的光束2在放上待测材料后的光路图。如图2所示。图2是M2镜和待测薄膜的简示图。由于实验中我们采用的是宽光源, 所以光束2在经过M2和待测薄膜后, 其反射回来的光束有以下几种可能性：（1）经薄膜上表面反射回来与M1镜反射回来的光束进行干涉的光束A。（2）经M1薄膜下表面反射回来与镜反射回来的光束进行干涉的光束B。（3）经M2镜表面反射回来且不经过薄膜层与M1镜反射回来的光束进行干涉的光束C。（4）经M2镜表面反射回来且经过薄膜层与M1镜反射回来的光束进行干涉的光束D。 以上四种干涉中, 第一和第二种干涉是发生在薄膜表面局部的, 这是由于薄膜表面的平整度不好引起的, 其反射回来的光线是杂散的, 只有入射光束垂直于薄膜表面, 其反射回来的光束才能进入干