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第二讲_位移传感器
* 通过光电元件,可将莫尔条纹移动时光强的变化转换为近似正弦变化的电信号,如图所示。 一、光栅位移传感器 其电压为: * 将此电压信号放大、整形变换为方波,经微分转换为脉冲信号,再经辨向电路和可逆计数器计数,则可用数字形式显示出位移量,位移量等于脉冲与栅距乘积。测量分辨率等于栅距。 一、光栅位移传感器 * 1.感应同步器结构 二、感应同步器 sin cos 节距2τ(2mm) 节距τ(0.5mm) 绝缘粘胶 铜箔 铝箔 耐切削液涂层 基板(钢、铜) 滑尺 定尺 * 包括定尺和滑尺,用制造印刷线路板的腐蚀方法在定尺和滑尺上制成节距T(一般为2mm)的方齿形线圈。定尺绕组是连续的,滑尺上分布着两个励磁绕组,分别称为正弦绕组和余弦绕组。当正弦绕组与定尺绕组相位相同时,余弦绕组与定尺绕组错开1/4节距。滑尺和定尺相对平行安装,其间保持一定间隙(0.05~0.2mm)。 二、感应同步器 * 2.感应同步器的工作原理 在滑尺的绕组中,施加频率为f(一般为2~10kHz)的交变电流时,定尺绕组感应出频率为f的感应电动势。感应电动势的大小与滑尺和定尺的相对位置有关。 设正弦绕组供电电压为Us,余弦绕组供电电压为Uc,移动距离为x,节距为T,则正弦绕组单独供电时,在定尺上感应电势为 二、感应同步器 * 余弦绕组单独供电所产生的感应电势为 二、感应同步器 由于感应同步器的磁路系统可视为线性,可进行线性叠加,所以定尺上总的感应电势为 * 式中 : K——定尺与滑尺之间的耦合系数; ——定尺与滑尺相对位移的角度表示量(电角度) T——节距,表示直线感应同步器的周期,标准式直线感应同步器的节距为2mm。 利用感应电压的变化可以求得位移X,从而进行位置检测。 二、感应同步器 * 3. 测量方法 根据对滑尺绕组供电方式的不同,以及对输出电压检测方式的不同,感应同步器的测量方式有鉴相式和鉴幅式两种工作法。 二、感应同步器 * (1)鉴相式工作法 滑尺的两个励磁绕组分别施加相同频率和相同幅值,但相位相差90o的两个电压,设 二、感应同步器 则 从上式可以看出,只要测得相角,就可以知道滑尺的相对位移x: * 二、感应同步器 2.鉴幅工作法 在滑尺的两个励磁绕组上分别施加相同频率和相同相位,但幅值不等的两个交流电压: 则: 由上式知,感应电势的幅值随着滑尺的移动作正弦变化。因此,可以通过测量感应电动势的幅值来测得定尺和滑尺之间的相对位移。 * 1.磁栅式位移传感器的结构 三、磁栅位移传感器 1—磁性膜 2—基体 3—磁尺 4—磁头 5—铁芯 6—励磁绕组 7—拾磁绕组 * 2.原理: 在用软磁材料制成的铁芯上绕有两个绕组,一个为励磁绕组,另一个为拾磁绕组,将高频励磁电流通入励磁绕组时,当磁头靠近磁尺时在拾磁线圈中感应电压为: 三、磁栅位移传感器 U0——输出电压系数; ——磁尺上磁化信号的节距; χ——磁头相对磁尺的位移; ω——励磁电压的角频率。 式中: 在实际应用中,需要采用双磁头结构来辨别移动的方向 * 3.测量方式 (1)鉴幅测量方式 如前所述,磁头有两组信号输出,将高频载波滤掉后则得到相位差为π/2的两组信号 两组磁头相对于磁尺每移动一个节距发出一个正(余)弦信号,经信号处理后可进行位置检测。这种方法的检测线路比较简单,但分辨率受到录磁节距λ的限制,若要提高分辨率就必须采用较复杂的信频电路,所以不常采用。 三、磁栅位移传感器 * 2.鉴相测量方式 将一组磁头的励磁信号移相90°,则得到输出电压为 在求和电路中相加,则得到磁头总输出电压为 三、磁栅位移传感器 则合成输出电压U的幅值恒定,而相位随磁头与磁尺的相对位置χ变化而变。读出输出信号的相位,就可确定磁头的位置。 * 角位移检测传感器 一、旋转变压器 二、光电编码器 * 1. 结构如图所示 旋转变压器一般做 成两极电机的形式。 在定子上有激磁绕组 和辅助绕组,它们的 轴线相互成90°。在 转子上有两个输出绕组 ——正弦输出绕组和余弦输出绕组,这两个绕组的轴线也互成90°,一般将其中一个绕组(如Z1、Z2)短接。 一、旋转变压器 * 2. 原理 旋转变压器在结构上与两相绕组式异步电机相似,由定子和转子组成。当以一定频率(频率通常为400Hz、500Hz、1000Hz及5000Hz等几种)的激磁电压加于定子绕组时,转子绕组的电压幅值与转子转角成正弦、余弦函数关系,或在一定转角范围内与转角成正比关系。前一种旋转变压器称为正余弦旋转变压器,适用于大角位移的绝对测量;后一种
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