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第一章 真空技术基础 本章主要内容： 稀薄气体的基本性质 真空的获得 真空的测量 真空的基本知识 真空配件、检测 §1-1 GAS and VACUUM 1. What is the difference of Gas from Vapor? THE ATMOSPHERE IS A MIXTURE OF GASES 2. Pressure VAPOR PRESSURE OF WATER Vapor Pressure of some Solids 3. THE VACUUM 用“真空度”及“压强”两个参量来衡量真空的程度。 帕斯卡（pascal）=1牛/米2，国际单位制 托（Torr）=133.322Pa=1/760atm单位，描述真空的独特单位 此外，mmHg、atm、bar等。 4. Pressure unit 5. Why is a Vacuum Needed? 5. Why is a Vacuum Needed? 6. 真空的划分 §1-2 稀薄气体的基本性质 低压状态下，可用理想气体的状态方程（波义尔定律、盖·吕萨克定律、查理定律）来描述，遵守麦克斯韦——玻尔兹曼分布。 2. 气体分子的速度分布 麦克斯韦速度分布函数 f（v）表示分布在速度v附近单位速度间隔内的分子数占总分子数的比率 气体分子速度分布 v＝f(T,M) 3. 三个重要速度表示 4.平均自由程 MEAN FREE PATH 代入理想气体状态方程 得 : 对于25℃空气 5. 分子通量与余弦散射律 （1）分子通量F（入射频率n）：单位时间单位面积的器壁上碰撞的气体分子数 （2）气体分子从固体表面的反射几率 6. 气体的流动 FLOW REGIMES FLOW REGIMES 气源 GAS LOAD Pumpdown Curve §1-3 真空的获得 典型的真空系统包括：真空室(Chamber)，真空泵(Vacuum Pump), 控制系统(Control system)，真空计(Vacuum Gag) 真空系统的两个重要参数：极限真空（本底真空, Base pressure or Ultimate pressure），抽气速率(Pumping speed) The pumps suck gas out of the system ？ Vacuum Pumps 主要的真空泵 油封机械泵、分子泵、罗茨泵 原理：利用机械力压缩 油扩散泵 原理：油蒸汽喷射形成压差 溅射离子泵、钛升华泵 原理：溅射形成吸气、升华形成吸气 冷凝泵 原理：将气体冷凝成液态/冷凝吸附 1. 机械泵（旋片式机械泵） 转子偏心地置于定子内，旋片上有弹簧，整个部件浸于机械泵油中，油起润滑和密封作用。 旋片转动一周后 经n个循环后 Pn不可能趋于零，因为： A.在出气与转子密封点之间存在着“有害空间”。 B.单等级泵时进气口与排气口压力差大。 C.泵油在高温摩擦下，裂解形成轻馏成份。 D.水蒸汽凝结，形成悬浊液 How Two stage rotary pump Works OIL BACKSTREAMING 2. Roots--罗茨泵 两个8字形共轭的转子，转子之间、转子与泵壁之间无油，间隙0.1mm高速转动：可达3000转/分，抽气时无压缩，工作原理：容积泵+分子泵。 机械增压泵 Blower/Booster Pump One Stage Roots Blower Pump Assembly 3. 扩散泵 扩散泵油被加热后沿喷嘴向下喷射，速度可达200m/s，由空气动力学原理与进气口形成压力差，使气体向下扩散而被抽走，油蒸汽水冷后重新利用。 First stage vapors are separated from others How the Pump Works Pumping Speed Release of Vapors Maximum Tolerable Foreline Pressure LN2 reservoir with baffles 4. 分子泵 Pump Operation 5. 钛升华泵 加热热丝至足够高温（1100℃），钛直接升华，钛沉积在器壁内腔上，形成新鲜钛膜层，在升华和沉积