MSDS_光阻UVN30-0.5.docVIP

Material Safety Data Sheet / 物质安全资料表 第一部分 化学品及企业标识 化学品中文名称：光阻KrF UVN30 化学品俗名或商品名：UVN TM 30-0.5 Negative DUV Photoresist 化学品英文名称：UVN TM 30-0.5 Negative DUV Photoresist 企业名称：罗门哈斯电子材料（东莞）有限公司 地址：中国广东省东莞市东城区牛山外经工业园 邮编：-- 电子邮件地址：-- 传真号码：86 769 座机电话号码 企业应急电话：+800-2537-8747 技术说明书编码：C0400260 生效日期：2005年7 月27 日 国家应急电话：事故应急救援（021）座机电话号码 F , FAX 021 座机电话号码 , 火警 119 /组成信息 化学品名称：UVN TM 30-0.5 Negative DUV Photoresist 有害物成分： 浓度-1-甲氧基-2-丙基酯 60.0 - 80.0 % 108-65-6 Imidazo[4,5-d]imidazole-2,5 1.0 - 2.5 % 220140-29-4 1H,3H -dione,-tetrahydro-1,3, 4,6-tetrakis hydroxymethyl - 3a-methyl-6a-propyl 2-甲氧基-1-丙醇乙酸酯 0.25 - 0.5 % 70657-70-4 第三部分 危险性概述 危险性类别：3 易燃液体 侵入途径：吸入, 食入,眼睛/皮肤接触 健康危害： 对眼睛有刺激。 接触皮肤可引起过敏。 成分： 危害 乙酸-1-甲氧基-2-丙基酯： 易燃的、对眼睛有刺激。 Imidazo[4,5-d]imidazole-2,5 对眼睛有刺激。 1H,3H -dione,-tetrahydro-1,3, 4,6-tetrakis hydroxymethyl - 3a-methyl-6a-propyl 2-甲氧基-1-丙醇乙酸酯 ： 易燃的、刺激呼吸系统。会对胎儿有伤害。 环境危害：无资料 燃爆危险：易燃的 第四部分 急救措施 皮肤接触：用水洗涤皮肤。 持续洗涤至少15分钟。 如果出现起泡或发红不退，请就医。 眼睛接触：立刻大量用水冲洗眼睛至少15分钟，撑开眼睛。 如果疼痛或发红不退，请就医。 吸 入：自暴露区移开。 如果呼吸困难，请给予氧气。 如果症状持续不退，请就医。 食 入：用水漱口。 让受害者饮用1－3杯水，稀释胃中之物。 需要及时就医 如果受害者正失去意识、已失去意识或抽搐，切勿经口服用任何东西。 医生须知：对症处置。 第五部分 消防措施 危险特性：压力可能于密闭的容器内产生，并可能释放出可燃性蒸气。 有害燃烧产物： 燃烧会产生：, 一氧化碳, 二氧化碳, 硫的氧化物, 氮氧化物, 辛辣烟雾和刺激烟气, 灭火方法及灭火剂：使用洒水、泡沫、干粉或二氧化碳。用水喷雾冷却容器和周围环境。 灭火注意事项： 本产品遇火可引起有害蒸气。 蒸气可飘到很远的地方，到达点燃源，导致回烧。 消防人员的特殊保护设备： 穿着全防护衣服及自给式空气呼吸装置。 第六部分 泄漏应急处理 应急处理： 个人的预防措施： 穿着适当的防护服。戴呼吸罩，消除所有火源。 环境预防措施： 防止物质进入排水沟或水道。 不要直接排入水源。 如果溢出物进入水道或者下水道、或者污染土壤或植被时，请通知政府管理部门。 消除方法： 用吸收剂覆盖或遏制。收集并处理。 装入适当的容器中进行回收或处理。 最后以大量水冲洗该区域。 第七部分 操作处置与储存 操作注意事项： 使用局部排气通风设备。 避免接触眼睛、皮肤和衣服。 保持容器紧闭。 有关贮存的进一步的信息： 切勿靠近热源、火花、火焰和其它火源。 做好个人卫生以预防意外暴露。 储存注意事项： 存放在原来的容器中。 切勿靠近热源和火源。 储存区域应该是： 凉爽 干燥 通风良好 切勿阳光直射。 第八部分 接触控制/个体防护 规章 列表格式 值 乙酸-1-甲氧基-2-丙基酯 Rohm and Haas TWA 30 ppm Rohm and Haas STEL 90 ppm Rohm and Haas Absorbed via skin OEL EU TWA 275 mg/m3 50 ppm OEL EU STEL 550 mg/m3 100 ppm OEL EU SKIN_DES 监测方法：无资料 工程控制： 最好使用工程方法对暴露进行预防或控制。方法包括工序或人员封闭、机械通风（局部排气）以及控制工