鹤2.28成品 清 洗.docVIP

一、目 的 通过规范强丰全自动清洗机作业，确保生产安全、高效。 二、范 围 适用于硅片二部的强丰全自动清洗机作业。 三、定 义 无 四、职 责 4.1工艺负责制定该文件； 4.2工艺技术员及生产班组长负责监督实施； 4.3一线员工负责按照文件实施执行。 五、作业内容 5.1 设备、材料。 5.1.1 强丰全自动清洗机 5.1.2 工作服、工作鞋、工作帽、橡胶手套、PE手套、一次性口罩、护目镜、围裙、耳塞。 5.1.3 5000mL塑料量杯、刀片、8寸片盒、长柄刷、抹布、刮水板、水桶、塑料周转箱、拖把， 5.1.3 DY-100硅片清洗剂、DY-120B硅片清洗剂、NAOH 5.2 主要工艺参数。 九槽强丰自动清洗机 1槽 2槽 3槽 4槽 5槽 6槽 7槽 8槽 9槽 烘干槽 功能 超声清洗 B剂清洗 超声清洗 超声清洗 碱洗 碱洗 超声清洗 超声清洗 预托水洗 烘干表面水分 清洗剂 / DY-120B / / DY-100 NAOH DY-100 NAOH / / / / 溢流 √ × √ √ × × × × √ × 超声HZ √ × √ √ √ √ √ √ × × 温度℃ 25℃ 25℃ 25℃ 25℃ 55℃ 55℃ 60℃ 60℃ 80℃ 90℃ 时间T 280s 280s 280s 280s 280s 280s 280s 280s 220 200s 5.2.1工艺要求： 5.2.1.1 单个机台清洗硅片36000pcs—38000pcs之间（36H），进行彻底换液（中间不加液）； 5.2.1.2 彻底换液时， 2槽加B剂 2000ml； 5槽加DY-100→12.5kg与NAOH→500g，纯水≥170L；NAOH浓度≤0.3% 6槽加DY-100→12.5kg与NAOH→500g，纯水≥170L；NAOH浓度≤0.3% 5.2.1.3 清洗剂项“ / ”表示不加任何液剂； 溢流项中“√” 表示自动模式下打开溢流阀； “×”表示自动模式下关闭溢流阀； 超声项中“√” 表示自动模式下超声发生器启用；“×”表示自动模式下超声发生器关闭； 5.2.1.4各班（12H）下班前将各槽彻底清洗、彻底换液； 5.2.1.5对于刚加液的第二、第五、第六槽必须保证化学试剂充分混合均匀后才能进行硅片的清洗作业，即对于第二、第五、第六槽刚执行加液或换液作业时，前三篮以空篮进行清洗作业。 5.3 开机操作： 5.3.1开启电源，打开纯水、气阀开关、球阀开关，按下控制柜上电源启动按钮，触摸“进主菜单”； 5.3.2进入时间参数设定画面，根据工艺要求设定时间参数； 5.3.3进入时间参数设定画面，根据工艺要求设定各槽加热温度； 5.3.4确保各槽超声处于打开状态并且超声的总电源也处于打开状态； 5.3.5根据工艺要求将各槽自动运行状态下的超声、加热、抛动、进水溢流等打开； 5.3.6待加热温度到设定值后，进行“复位”；（图7） 5.3.7复位后，选择“自动运行模式”，点击“自动启动”按钮，设备进入自动工作状态；（如图7） 5.3.8加液： 5.3.8.1 穿戴好工作服、工作鞋、工作帽、手套、口罩、护目镜、围裙和耳塞； 5.3.8.2 打开第一、二、三、四、五、六、七、八、九槽的进水阀门，二、五、六槽加水至3/4满； 5.3.8.3 将加料水桶洗净，按照工艺要求用量倒入硅片清洗剂，再沿着槽边缓慢加入到清洗机二、五、六槽内； 5.3.8.4 从二、五、六槽内舀出5-8升清洗剂水溶液到加料桶中，将氢氧化钠缓慢倒入加料桶并搅拌均匀，再沿着槽边缓慢加入到清洗机五、六槽内； 5.3.8.5 二、五、六槽加液完毕后再超声震荡20分钟后才可以上料洗片或前三篮以空篮进行清洗作业。 5.3.9 插片： 5.3.9.1 在插片槽内放满清水后关闭进水水阀，当插片槽内的水脏至不能见底时即打开放水水阀，更换槽内的水至清； 5.3.9.2 将高度略高于片盒底部尖角的泡沫垫放入插片槽的水中使沉底，将空片盒对准泡沫垫放平稳，使泡沫垫正好位于片盒底部； 5.3.9.3 插片前首先把整棒硅片“胶面朝上”顺序地泡入水中，然后轻轻拿起5-10mm厚度的硅片顺着切片线痕的方向轻轻抽取硅片，对准片盒的片槽按从外到内的顺序竖直插入片盒。若硅片无法一次插到底，则提起硅片重新插入，不得将硅片强按到盒底； 5.3.9.4 插片时仔细检查硅片上是否有气孔，将气孔片、缺角、厚薄片分缺陷种类集中插在片盒内。集中插在片盒内，在随工单上注明气孔片数并通知分选员工注意检查气孔； 5.3.9.5 插完一根晶棒后，用理论片数减去已插片片数和插片破片数之和得出切