EQC工序作业指引.docVIP

1.0目的：制定蚀刻后的半成品板的检验方法和允收标准﹐使检验工作有章可循﹐有据可依。 2.0检验方式: 2.0.1检查规定:针对于蚀刻后的板子做全面检验。每批蚀刻必须板经EQC站全检后合格后才能转下工序 3.0检验工具: MI/制造流程卡（LOT卡）﹑修板刀﹑检验光台、 4.0检验项目: 4.1开路或短路 4.2孔径尺寸 4.3蚀刻后的板面质量 5.0缺陷名称： 开路﹑短路﹑蚀刻不净﹑蚀刻过度、线宽、线细、退膜不干净、孔大孔小偏孔﹑板面划伤﹑露织纹﹑基材白斑﹑基材白点﹑线路凸出/缺口/锯齿状、基材杂物、微粒。 6.检验步骤: 6.1首检 6.1.1检验前﹐检验员须准备好MI/LOT卡﹑修检刀、手套等相关的检验资料和检验工具。 6.1.2检查上工序检验人员是否有对该板的质量进行签卡确认﹔ 6.1.3查板面的型号﹑版本号与MI/LOT卡上的要求是否一致﹔ 6.1.4量板子的最小线宽/线距与MI图纸上的要求是否相符﹔ 6.1.5板子的表面是否存在蚀刻不净或蚀刻过度现象﹔ 6.1.6测板子的孔径与MI上的要求是否相符﹔ 6.2检验完后﹐检验人员须如实将实际的检测结果记录在《EQC检验记录表》上。 6.2.1生产过程中﹐检验人员须严格按照公司制定的品质标准进行，如果发现批量不良时，第一时间将问题反馈到本部门上司进行处理﹐严重时须发停产单通知生产部改善后再批量生产﹔ 6.2.2转板之前﹐转