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CSMC-HJ CVD PROCESS TRAINING(XiongBH).pptVIP

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  • 2017-03-17 发布于江西
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CSMC-HJ CVD PROCESS TRAINING(XiongBH).ppt

    CSMC-HJ CVD PROCESS TRAINING(XiongBH).ppt

    CSMC-HJ CVD PROCESS TRAINING XiongBH CVD膜在IC中的运用 金属前介质层（PMD） 金属间介质层（IMD） W塞 （W PLUG） 钝化层（Passivation） CVD工艺的种类 APCVD（常压CVD） LPCVD（低压CVD） PECVD（等离子增强CVD） PCVD（光CVD） CSMC-HJ的PECVD P5000 TEOS+O2

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