WI91070010001_DRFT405406PM作业指导书.docVIP

制 定 · 修 改 履 历 制 定 年 月 日 版 号 内 容 批 准 人 2011 年 3月 7日 1 新制定文件 拟制人: 徐小锋 审核人: 李红雷 年 月 日 拟制人: 审核人: 年 月 日 拟制人: 审核人: 年 月 日 拟制人: 审核人: 年 月 日 拟制人: 审核人: 年 月 日 拟制人: 审核人: 年 月 日 拟制人: 审核人: 年 月 日 拟制人: 审核人: 年 月 日 拟制人: 审核人: 年 月 日 拟制人: 审核人: 关键词：DRFT 设备预防保养 特殊特性：无 目的：确保DRFT腐蚀设备的状态与性能的完好，延长设备的有效使用寿命，减少设备的备件损耗，提高设备的稳定性。 适用范围：本标准适用于DRFT腐蚀设备的定期点检、周期性预防保养 周期； 设备保养周期为12个月 职责：设备的预防保养、定期点检由本工序设备担当人员实施，产品品质由本工序工艺人员确认 注意事项： 实施人员必须按照文件来点检和保养设备，并如实填写“点检成绩书”。PM完成后由工艺人员确认产品质量。 对于所有药液单元管路、药液槽及泵必须检查是否有漏液的情况 保养后的设备必须交设备主管确认 表（1） 3个月保养点检表 1.动力供给点检 部位 项目 内容 管理値 点检时的数值 判定 １)N2 液面传感器压力稳定器 目测检查 0.03±0.005 Mpa Mpa 是?否 2)Air（CDA） 空气阀门压力稳定器 目测检查 0.35±0.05 Mpa Mpa 是?否 　 QDR阀门压力稳定器 目测检查 0.35±0.05 Mpa Mpa 是?否 3)排气 排气压力 目测检查 0.12±0.1KPa KPa 是?否 2.流量点检 部位 项目 内容 管理値 点检时的数值 判定 １)水洗槽-右 水溢（出） 目测检查 单槽运转时：35±5 l/ｍｉｎ l/ｍｉｎ 是?否 　 进水 目测检查 单槽运转时：60秒以内 秒 是?否 　 出水 目测检查 10秒以内 秒 是?否 2)水洗槽-左 水溢（出） 目测检查 单槽运转时：35±5 l/ｍｉｎ l/ｍｉｎ 是?否 　 进水 目测检查 单槽运转时：60秒以内 秒 是?否 　 出水 目测检查 10秒以内 秒 是?否 3.液温点检 部位 项目 内容 管理値 点检时的数值 判定 １)药液槽-右 表示温度 目测检查 主显示-装置表示＝±1℃ 　　　　　－　　　　　　　　　　　　＝　　　　　　　℃ 是?否 　 　 　 设定温度-设备表示＝±1℃ 　　　　　－　　　　　　　　　　　　＝　　　　　　　℃ 是?否 2)药液槽-左 表示温度 目测检查 主显示-装置表示＝±1℃ 　　　　　－　　　　　　　　　　　　＝　　　　　　　℃ 是?否 　 　 　 设定温度-设备表示＝±1℃ 　　　　　－　　　　　　　　　　　　＝　　　　　　　℃ 是?否 4.泵点检 部位 项目 内容 管理値 点检时的数值 判定 １)药液槽-右 循环确认 目测检查 没有异常声音 　 是?否 2)药液槽-左 循环确认 目测检查 没有异常声音 　 是?否 5.升降机动作的点检 部位 项目 内容 管理値 点检时的数值 判定 １)药液槽-右 摇动运转 目测检查 可以顺利运转 　 是?否 2)药液槽-左 摇动运转 目测检查 可以顺利运转 　 是?否 6.液面传感器点检 部位 项目 内容 管理値 点检时的数值 判定 １)药液槽-右 供水停止位置 目测检查 停止液面和传感器位置一致 　 是?否 2)药液槽-左 供水停止位置 目测检查 停止液面和传感器位置一致 　 是?否 7.连动锁 部位 项目 内容 管理値 点检时的数值 判定 1)机体 紧急停止按钮 目测检查 运转时按下后停止 　 是?否 　 N2压力低下 目测检查 检测到后报警 　 是?否 　 Air（CDA）压力低下 目测检查 检测到后报警 　 是