薄膜电阻率测量数据处理.docxVIP

五、数据处理 频谱反射光学测厚法测量AZO薄膜的厚度 样品编号 薄膜厚度（均值）（nm） 中位数（nm） 最大值（nm） 最小值（nm） 1 113.2 111.1 126.8 105.7 2 181.4 183.7 189.1 168.1 3 292.7 300.1 314.7 267 4 415.9 425.3 435 372.6 1、做出电压随电流变化的关系与拟合 U=38.8921 I+0.0071196 U=28.0341 I -0.0596124 U=24.8251 I+0 U=15.7763 I+0由以上拟合的电压-电流关系图可以看出，当薄膜的厚度一定时，电压与电流呈线性关系。 测得薄膜的平均厚度分别为：113.2nm、181.4nm、292.7nm、415.9nm 利用公式算出薄膜电阻率，并作出薄膜电阻率随膜厚变化图如下： 从上图可以看出，薄膜的电阻率随膜厚先增大后减小，不过变化不是很大。 六、实验结果陈述与总结 实验测得，薄膜的平均厚度分别为：113.2nm、181.4nm、292.7nm、415.9nm。测电阻时，当薄膜的厚度一定时，电压与电流呈线性关系，即电阻一定。从作出的薄膜电阻率随膜厚变化图可以看出，薄膜的电阻率随膜厚先增大后减小，不过变化不是很大，在近似计算中可认为是一个常数。 本次实验的实验操作都比较简单，