晶体生长建模软件EMAG之Czochralski (CZ) Process (FEMAG-CZ).docVIP

晶体生长建模软件FEMAG Czochralski (CZ) Process（FEMAG-CZ） FEMAG直拉法模拟软件FEMAG-CZ）用于模拟直拉法工艺（包括Cz, MCz, VCz,泡生法? FEMAG-CZ直拉法模拟软件用于新的热场设计大直径晶锭生长 无缺陷硅晶锭生长 提高成品率 氧含量控制 降低碳含量 晶锭半径和沿轴向的电阻率差异减小 CCZ工艺仿真 磁场设计 蓝宝石生长工艺设计FEMAG-CZ模拟软件通过降低试验成本而节省了RD消耗 大直径晶锭生长 以期不进行大量昂贵的可行性试验生长大尺寸晶体看起来是不太现实的FEMAG-CZ软件提供这种可能性为了生产450 mm及以上的大尺寸无缺陷硅晶体FEMAG-CZ来定义关键的工艺参数而无需任何材料和能源的消耗FEMAG-CZ能够设计新的热场并研发新的工艺技术在EMAG直拉法模拟还能进一步为晶体生长工程师给出在某一工艺配置下产出的最终成品的质量和成本信息比如晶体中的温度梯度氧 通过软件能够获得硅 ???FEMAG 3D 熔体流动模拟结果????????? ?? ? ? ?? FEMAG动态模拟 ? 无缺陷硅晶锭生长 无缺陷晶体硅生长是世界上最大的难点之一运用缺陷工程模块可以预测晶体炉或者其他指定直拉法工艺环境中生长的晶体成品质量缺陷工程模块洞悉硅锗生长过程中填隙原子 FEMAG-CZ能