新风空调箱操作维护指导书.docVIP

新风空调操作维护 版本与更改记载 版本 实施日期 记 载 编制 审核 批准 A/0 2012/04/01 首版 1目的 确保机组的正常运行操作和良好的维护保养，保证机组正常运行， 2适用范围 本规程规定了天加新风机组运行操作步骤，内容，方法等等，适用于天加新风机组的操作。 整个系统包括新风系统，回风系统，空气过滤装置，冷热盘管，喷雾加湿系统，管线及末端送回风装置。 3 职责 权责范围为厂务动力部，负责MAU新风空调箱的运行操作及维护保养工作。 4定义 新风空调箱是空调送风系统核心，保证无尘室正压及温湿度环境的生产需求。 5控制内容 5.1工作流程： 5.1.1全新风机组由离心式风机、冷热交换装置，板式/袋式过滤器及高效过滤器、箱体等组成。新风机通过风管从室外抽取新风，通过过滤、加湿/除湿、预热/表冷/再热处理，送入洁净室内； 5.1.2采用MAU+FFU+DCC方式控制洁净室内温湿度及压差；100级与1000级区域采用上送下回的气流方式，10000级区域采用上送侧回的气流方式； 5.2供给区域： 5.2.1洁净室1FL LAPPING ROOM（10000级）； MOCVD1/2 ROOM（10000级）； THIN FILM1/2 ROOM（1000级）； SCRUBBER1/2 ROOM； PHOTO ROOM（100级）； 5.3开机前检查 5.3.1检查机组外观 5.3.1.1箱体内部洁净，无积水积污现象； 5.3.1.2各检修门均可靠锁闭，间隙无过大过小现象； 5.3.2检查控制柜电源 5.3.2.1电源电压380V±5%，电源指示正常，无故障提示； 5.3.2.2变频器运行正常，无故障提示； 5.3.2.3各开关均在“合闸”位置，节点牢固可靠； 5.3.3检查电动机 5.3.3.1电机外观良好，皮带无破损断股、过松过紧现象； 5.3.3.2离心风机无严重结垢及扇叶磨损； 5.3.4检查换热系统 5.3.4.1冷冻水（热水）供、回水阀门处于开启位置，旁通阀均处于关闭位置； 5.3.4.2冷冻水（热水）供回水压力应在0.2~0.4MPa； 5.3.4.3管路无渗漏，保温无破损现象； 5.3.5检查风系统 5.3.5.1风阀开度正常，可靠锁闭，防火阀状态正常； 5.3.5.2滤网洁净，无严重积尘，初效过滤器压差＜150Pa，中效过滤器压差＜300Pa，初效过滤器压差＜500Pa； 5.3.5.3冷水进水温度6～10℃，出水15～25℃；热水进水温度60～70℃，回水40～50℃； 5.3.5.4冷热盘管洁净，无积污堵塞； 5.3.6检查加湿系统 5.3.6.1RO供水正常，电导率＜1000μS*cm； 5.3.6.2喷淋加湿泵运行正常，无异音异响； 5.3.6.2喷头无结垢、堵塞等现象； 5.4启动操作 5.4.1初次开启时先调整好电动机运行频率； 5.4.2按下机组控制柜变频器“START”按钮或在手动方式下，按下盘面“启动”按钮。 5.4.3启动过程中若有异常，立即停机，查明原因，排除后重新启动。 5.5运行监控与记录 5.5.1观察、监听机组 5.5.1.1机组运行过程中，无异常响动、振动、金属撞击声、摩擦声响； 5.5.1.2机组无漏风、漏水等现象； 5.5.2监视各指标 5.5.2.1滤网压差超过上限时，应尽快予以更换； 5.5.2.2确保各项指标在正常范围内。冷热水供回水蝶阀全开，流量调节阀处于合适位置，冷冻水进水温度6～10℃，出水15～25℃；冬季热水进水温度60～70℃，回水40～50℃； 5.5.3记录 5.5.3.1每两小时巡视检查一次，根据数值判断机组状况并及时调整水阀、风阀。 5.6停机操作 按控制柜上“停止”按钮，机组停止运行。 5.7维护保养 5.7.1对机组进行维修和保养时必须切断主电源；并在操作手柄上悬挂表示牌； 5.7.2冬季开机时，注意水管保温，长期停机时，水管内的水要排净，防止水管冻结； 5.7.3冷热盘管肋片应及时清洁； 5.7.4过滤器应及时检查更换； 5.7.5电路接点螺丝应每月检查是否松动； 5.7.6每次维修保养认真填写维护保养单。 5.8故障与应急处理 5.8.1无法启动设备 5.8.1.1检查相关电气连锁 5.8.1.2检查电源环节 5.8.1.3解除故障，重新按启动程序启动 5.8.1.4如仍未能启动，及时报告主管，联系厂家服务人员进行咨询。 5.8.2故障停机 5.8.2.1操作人员应先切断电源开关，然后进行故障检查。 5.8.2.2故障排除后，按正常启动程序重新启动机组。 5.8.3突然停电 5.8.3.1按正常程序启动机组，察