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附件：1、设备名称、技术参数及功能要求、政府采购进口产品专家论证意见
（一）、进口产品
1、环境扫描电子显微镜
一、产品名称、技术参数及功能要求
采购数量：1台
1．技术规格：
1.1分辨率：
*1.1.1分辨率：
*1.1.1.1高真空模式： 3.0nm @30kV(SE)；
4.0nm @30kV(BSE)；
8.0nm @3kV(SE)；
*1.1.1.2 低真空模式： 3.0nm @30kV(SE)；
4.0nm @30kV(BSE)；
10.0nm @3kV(SE)；
*1.1.1.3 环境真空模式： 3.0nm @30kV(SE)。
1.2电子光学系统
1.2.1电子枪：高性能电子光学镜筒, 双阳级热发射电子枪。
1.2.2 固定式物镜光阑，使用方便。
1.2.3 45锥度物镜极靴，及“穿过透镜”压差真空系统。
1.2.4 加速电压： 200V－30KV
1.2.5 束流：最大束流2m A并连续可调。
1.2.6放大倍数：6倍－100万倍。
1.3样品室
1.3.1样品台：5轴马达驱动和手动驱动, 通过计算机软件进行控制
X≥100mm，Y≥100mm，Z≥60mm，T= -5～+70°，R=360°连续旋转
*1.3.2重复精度： 2μm（X/Y方向）
1.3.3 全对中样品台
1.3.4 样品室尺寸: 左右内径280mm
1.3.5 分析工作距离 10 mm
1.3.6 EBS 采集角：35°
1.3.7 冷冻样品台（要求与电镜同品牌）：-20°C ---50°C,软件内嵌式控制系统
1.4检测器
*1.4.1配备高真空模式E-T二次电子探头；
*1.4.2大视场低真空气体二次电子探头（LFD）
*1.4.3配备环境真空下的气体二次电子探头(GSED)
1.4.4 配备定向背散射探头
1.4.5 样品室红外CCD相机
1.5图像处理器
1.5.1 图像处理：最大4096 x 3536像素
1.5.2 图像文件格式: TIFF(8 bit 或16 bit), BMP或JPEG;
1.5.3单窗口或4窗口图像显示
1.5.4 四活动窗口
1.5.5 实时或静态信号按彩色或按灰度等级混合
1.5.6数字动画记录 (.avi格式)
1.5.7 256 帧平均或积分
1.5.8 直方图及图像测量软件
1.6系统控制
1.6.1基于Windows 7操作系统的32位图形用户界面
1.6.2显示器：24英寸液晶显示器，分辨率1920X1200
1.6.3 键盘，光电鼠标
1.7真空系统
1.7.1 涡轮分子泵250l/s，1个
1.7.2 机械泵，1个
1.7.3 “穿过透镜”的压差真空系统。
*1.7.4 样品室真空度：高真空模式下＜6×10-4Pa
低真空模式下＜10Pa～130Pa
环境真空模式下＜10Pa～2600Pa
1.7.5 高真空模式下换样时间≤150s，低真空及环境真空模式下换样时间≤270s
1.8 支持软件
1.8.1 SmartSCAN? 智能扫描技术；
1.8.2蒙太奇图像导航；
1.8.3软件温度控制；
1.8.4 FEI动画生成工具。
1.9 智能化X射线能谱仪
*1.9.1能谱探测器：场效应管(FET)内置的高速 SDD芯片，晶体有效检测面积≥25mm2，脉冲处理板集成在探测器内。
1.9.2采用Si3N4窗口，耐高热，耐强酸腐蚀。
1.9.3分析元素范围：Be4~Am95
1.9.4能量分辨率(Mn-Ka)：优于129eV(STD),严格依照ISO15632国际标准测量
1.9.5峰背比例：优于22,000:1
1.9.6分析平台：支持包括中文在内的多国语言的智能微观分析平台，直观易用，并通过诸多智能特点和功能实现更人性化的操作，例如
1.9.6.1智能元素分布：在快速扫描的同时，实时自动识别元素并给出其面分布
1.9.6.2专家峰识别（ExpertID）：基于物理原理的高级峰识别技术，对叠峰和痕量元素识别更准确
1.9.6.3智能跟踪：实时跟踪系统状态，确保其始终处于最佳条件
1.9.6.4智能数据复查：方便提取数据和重构面分布
1.9.7智能定性分析：基于物理原理的定性分析技术——专家型峰识别（Expert ID）
1.9.8智能定量分析：针对具体应用，有不同的定量方法供选择：
eZAF定量方法，增强基体校正，适合平整的表面，样品倾斜范围扩展到70度，从而支持EBSD分析条件下的定量分析
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