一. 监控程序的操作 2.1 程序启动 在扩散炉的层电源启动的情况下,启动工业控制计算机电源开关,计算机启动进入WINDOWS 2000操作系统,驱动触摸屏。在系统未完全启动完毕的情况下,请勿触摸屏幕,以避免触摸屏驱动程序报错。系统自动启动执行文件,自动装载所需数据文件及驱动文件,并显示登录界面。 2.2 登录 在登录界面中,有0-9及A-Z字符键允许作为密码字符,箭头为退格键,ENTER为回车键。本监控程序的初始密码为“AAAAA”。如果要修改密码,则先输入原来的密码,再在相应的输入框中输入新的密码,然后按“确定”按钮即可。输入请牢记修改后的密码,以避免无法进入程序进行工作。 本窗口为登录窗。 二. 温度设置 在手动操作屏的中上部有三个模拟温度控制器的图形。根据温度控制器图形上的“RKC”、“REX-F400”、“RKC”字符,可以知道分别对应本层扩散/氧化炉的三个控制温度的温控仪。温控仪的型号分别为“CD401”,“F400”。温度控制器图形中,三个绿色的“850”分别表示左、中、右三个温区的控温热偶的测量值。三个红色的“850”分别表示左、中、右三个温区的温度控制器的温度设定值。通过这三个温度控制器的复杂控制,能实现恒温区所要求的控制精度。在手动操作屏中,三点的SV值可以单独设置,主要为提供维护与测试所用。在下面将提到的自动运行屏中,SV值由自动程序自动设置,不能够手动修
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