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硕士学位论文 （工程硕士） 对多晶硅纳米薄膜电学修正特性的研究 Research on electrical trimming characteristics PROPERTIES OF Polysilicon NanofilmS 吴璇 2010年6月 TN432 学校代码：10213 国际图书分类号：621.3.049.774 密级：公开 硕士学位论文 工程硕士 对多晶硅纳米薄膜电学修正特性的研究 硕士研究生： 吴璇 导师： 刘晓为 教授 申请学位级别： 工程硕士 学科、专业： 微电子学与固体电子学 所在单位： 微电子科学与技术系 答辩日期： 2010年6月 授予学位单位： 哈尔滨工业大学 Classified Index: TN432 U.D.C.: 621.3.049.774 A Dissertation for the Masters Degree of Engineering Research on electrical trimming characteristics PROPERTIES OF Polysilicon NanofilmS Candidate： Wu xuan Supervisor： Prof. liu xiaowei Academic Degree Applied for： Master of Engineering Sp