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浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号：Q02-01-2 单晶炉操作规范 版本号：A/1 页码：第 1 页 共18页 生效日期：2008年4月16日 一、目 的： 为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范。 二、范 围： 适用于TDR-70A/B和JRDL-800型单晶炉的操作。 三、依 据： 单晶炉使用说明书 四、权责单位： 单晶一厂 五、作业流程： 六、作业内容： 作业准备 进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。 开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无误后方能开炉。 准备好一次性洁净手套、、、 单晶炉操作规范 版本号：A/1 页码：第 2 页共18页 生效日期：2008年4月 16日 热态检漏 检查上一炉功率关闭时间，在确认单晶冷却时间达到2小时时，关闭氩气总阀门（关闭前先打开主、副室流量计调节阀并分别调节到30L/Min，再关闭氩气进气总阀门，主、副室流量计调节阀仍然保持打开状态），开始抽高真空，并作时间记录。 待炉内压力到达极限（要求达到３Pa以下）后，先关闭主室抽空球阀而后关闭主真空泵电源进行检漏，并作相应时间记录，若0.5小时内抽不到3Pa以下时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录。 检漏要求3分钟以上，漏气率0.34Pa/min为正常，同时作好漏气率记录，若漏气率＞0.34Pa/min时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录。 做好热态检漏时的抽空时间，检漏时间，极限真空，漏气速率等记录。 取单晶和籽晶 热态检漏后，必须继续冷却，等总冷却时间达到5小时后，再缓慢调节晶转、埚转为0，关闭晶转、埚转。充氩气至常压，关闭氩气，打开副室小门（在此之前须先拧松副室小门的螺丝）。 提升单晶至副室（提升单晶时注意单晶通过副室炉径处不得有碰撞），从副室小门内确认单晶升至所需高度，若无异常，打开液压泵，升起副室。 把安全接盘移到炉筒口处晶体下方（若晶体过长，则需连同炉盖一起同步转动），缓慢转动副室至侧面。 把取单晶的架子放在副室炉筒正下方，准备接单晶。 稳定单晶，移开安全接盘，按下籽晶快降，将单晶降入架子内。 确认单晶完全入架子内后，按住籽晶，用钳子将籽晶从细径处钳断，钳断籽晶后，应稳定重锤，防止重锤快速转动，损坏钢丝绳。 将籽晶从重锤上取下，放在指定场所，再将重锤升至副室内适当位置。 将单晶移到中转区，及时、准确的将单晶编号写在单晶上，并观察晶体的颜色及籽晶是否积渣等，做好相应的记录。待自然冷却后对单晶进行各项参数检测并作好记录。 浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号：Q02-01-2 单晶炉操作规范 版本号：A/1 页码：第 3页 共18页 生效日期：2008年4月16 日 石墨件取出冷却 石墨小件取出 打开液压泵电源，按炉盖升按钮上升炉盖。炉盖上升到位后，再旋转炉盖到侧面。 戴好耐高温手套按顺序取出导流筒及保温盖放在装石墨件的不锈钢小车上，注意要拿稳并轻放。 在整个拆装炉过程中，严禁赤手接触石墨器件，石墨器件安放必须在清洁好的不锈钢小车或平板上。 仔细观察炉颈﹑石英坩埚埚口是否积渣及石英坩埚是否变形，导流筒，看导流筒是否有开裂、粘硅现象，并及时做好相应的记录。 戴好耐高温手套用钳子夹住石英坩埚的上端部分提起，使其松动，将石英坩埚取出。若石英坩埚能将埚底料全部带出直接放入不锈钢筒；若不能则将先取出石英坩埚，剩下的埚底料随三瓣埚一并取出后，再将埚底料放入不锈钢筒内。若出现闷炉等意外情况则用专用工具夹住石墨三瓣埚一起取出或钳子像装料一样一块块取出，直至彻底取出。最后将不锈钢筒移到指定地方，并写上单晶编号，自然冷却。冷却后对埚底料进行重量检测并作好记录。 戴好耐高温手套依次取出三瓣埚、埚底放在装石墨件的不锈钢小车上，三瓣埚放上后要注意放稳当。 用埚杆板手从埚杆中央孔的位置拧下不锈钢螺丝，取出埚杆板手，再将埚杆连不锈钢螺丝放在不锈钢小车上，注意堆放稳当。 仔细观察石墨三瓣埚，看是否有埚底部漏硅、开裂，埚杆、加热器，是否有损伤、断裂，电极是否有打火现象，排气管是否有阻塞现象，并及时做好相应的记录。 取出的石墨件一并放在不锈钢小车上，在不锈钢小车边挂上石墨件所属炉号牌，移到指定的位置，自然冷却，移动过程中注意石墨件放置，防止坠落。 浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号：Q02-01-2 单晶炉操作规范） 版本号：A/1 页码：第4页 共18页 生效日期：2008年4月16日 石墨大件的取出（一般5炉做一次，须作好大清记录） 取出上保温罩放