W-FAC-CM-023 Rev.001CV运行操作指导.doc

Document Control Document number:W-FAC-COM-023 Subject: CV Operation Instruction 标题: CV运行操作指导 Fujisawa reference no:N/A Revision 版本 : 002 Prepared by 起草人: Tiancheng Zhao Department 部门 : Facility Content Subject Page 1.0 目的 3 2.0 范围 3 3.0 职责 3 4.0 定义 3 5.0 程序 3 6.0 相关资料 7 7.0 记录 7 1.0 目的 规范运行、操作程序，确保日立设施管理的流畅； 2.0 范围 日立龙岗工厂2台 Spencer Clean Vacuum(CV)； 3.0 职责 运行技术员：负责CV运行的监控，设备的开、停、切换； 运行班长：带领本班组技术员对日立龙岗工厂的设施运行进行监控，发现问题、解决问题，并按照汇报程序及时向上级汇报； 工程师：负责运行操作程序的编写、更新、培训，对运行操作提供技术支持，发现问题、分析问题、解决问题，并按照汇报程序及时向上级汇报； 4.0 定义 FMCS：Facility Manage Control System 设施管理控制系统； CV: Clean Vacuum 清扫真空； 5.0 程序 系统简介： - 在A栋MAU机房有两台CV（Clean Vacuum），是专门负责洁净室的清扫真空，风口安装在地板上。其工作原理是利用离心力的作用使空气在随着叶轮高速旋转时，进入叶轮的空气变在离心力的作用下被推向叶轮的外缘，这些高速流动的空气受到压缩，并集中到蜗壳形机壳中，然后在经过断面逐渐扩大的蜗壳形机壳，速度逐渐降低，一部分动能又转变成压力能，进一步提高空气的压力，最后由机壳出口压出。叶轮叶片之间的气体排出后，就在叶轮中心部分形成真空，这样就会不断有气体从吸气口中补充近来。为了获得更好的真空度，这种离心泵一般会是多级的（本机就是9级叶轮），而且叶轮的转速越高，叶轮直径越大，获得的极限真空就越高。 - 系统要求： 运行时保证压力低于-0.015Mpa; 启动前的检查： 确认进口端球阀处于打开位置; 确认分离器端阀门处于打开位置; 确认旁通阀的进气口滤网清洁； 确认压缩空气压力正常; 合上电源开关,并确认电源电压正常 启动（远程）： 将转换开关置于“远程”； 通知FMCS运行值班人员，设备准备就绪; FMCS运行值班人员在工作站上弹出CV主画面; 在主画面上选择CV开启; 观察控制面板上的马达运行频率,并观察真空压力表上的读数,压力应小于-0.015Mpa; 启动（本地）： 将转换开关置于“现场”; 按控制箱面板绿色按钮; 主机开始启动,观察控制面板上的马达运行频率,并观察真空压力表上的读数, 正常运行时读数是0.02MPa； 运行： 机器运行中，运行技术员按照CV点检表要求，定期巡检、记录; 停机（远程）： 系统如果处于定时停机状态,将自动停机； 在FMCS工作站选择CV关闭; 运行技术员现场确认CV关闭，变频器的频率将降低至0HZ; 停机（本地）： 系统如果处于定时停机状态,将自动停机; 手动停机可按面板上红色停机按钮; 按钮按下后变频器的频率将降低至0HZ,系统停止; 停机（紧急停机） 现场拍下CV控制屏上的红色紧急停止按钮; 进行CV的检查维修; 紧急停机后的恢复： 顺时针方向转动紧急停止按钮，使按钮复位； 操作CV控制器，复位; 5.10 切换： 正常情况下，CV每周切换一次；先按开机程序开启另外的CV；再按停机程序关停需要切换的CV; 5.11 故障紧急处理： 故障现象： 1．系统停机； 2．真空泵停机; 3. 真空压力底于-0.015Mpa; 故障原因： 1．停电； 系统电源跳闸； 2．真空泵故障； 3. 检查阀门是否关闭； 检查设备是否异常停机； 加开一台CV； 处理措施： 1．确认停电范围及原因； 若是单机停电，