5. 多层介质薄膜滤波器 薄膜谐振腔滤波器(ThinFilm Resonant Cavity Filter)也是一个F-P干涉仪,只不过其反射镜是采用多层介质薄膜而已, 常称为多层介质薄膜滤波器(Multilayer Dielectric ThinFilm Filter)。 这种滤波器用作带通滤波器,只允许特定波长的光通过而让其它所有波长的光反射,腔的长度决定要通过的波长。 图7.20 三腔介质薄谐振腔 滤波器 薄膜谐振多腔滤波器(ThinFilm Resonant Multicavity Filter)的结构如图7.20所示,由反射介质薄膜隔开的两个或多个腔构成。 图7.21 单腔、 双腔、 三腔介质薄膜滤波器的传输谱 改成多腔后与单腔相比,通带顶部更加平坦,边缘更为尖锐,如图7.21所示。 这种滤波器多个级联后,就可以做成波分复用器,如图7.22 所示。 由于这种滤波器通带顶部平坦,边缘尖锐,温度变化时性能稳定,插入损耗低,对光的偏振不敏感,所以在系统应用中是非常有吸引力的,如今已经广泛用在商业系统中。 图7.22 基于多层介质薄膜滤波器的波分复用/解复用器 6. 马赫-曾德尔干涉仪
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