Diffusion Furnace .docVIP

大同大學尖端中心貴重儀器實驗室 高溫爐 儀器管理及使用辦法 高溫爐 Furnace 1.廠牌, Model：THERMCO 2.放置地點： 電機 大樓 4樓408室 3.性能： 三區控溫：中央主控區 溫控範圍400 ℃至1400 ℃ ，左右控制區 溫控範圍±50℃ 高溫熱氧化：常用溫度範圍950℃~1150℃ 乾氧：O2穩壓計及流量計 濕氧：N2穩壓計、流量計、加熱包、水瓶、熱電偶及溫度控制器 水溫設定為95 ℃ 預沉積與驅入：常用溫度範圍950℃~1250℃ 4.附件： 晶舟 熱氧化與預沉積各自獨立使用 石英拉桿 熱氧化與預沉積各自獨立使用 承接石英盤 熱電偶溫度量測器 5.樣品規格要求及注意事項: 樣品需為經清洗潔淨後之矽晶片。 適合3”以下矽晶片使用。 石英器材 包括石英舟、承載器、石英桿、熱電偶 不可直接用手觸摸，必須戴上手套處理，如為高溫須使用耐熱手套。 勿直視高溫爐管過久，以防眼睛受損。 6.使用辦法: 1 自行操作 本實驗室高溫爐視需求舉行操作訓練及初級實作測驗，通過者為乙級user，可於8:00am-5:00pm使用，乙級 user可依規定升級為甲級user，可於任一時間使用。欲學習儀器操作者，須委由甲級 user訓練 使用該甲級 user預約時段 。 不當使用儀器或違反使用辦法，得由儀器負責人降低使用級別，或取消使用資格。 2 委託